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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0098898 (2003-12-29) |
공개번호 | 10-2005-0067868 (2005-07-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030098898 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-07-14) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 쿼츠 웨이퍼 링(QUART'Z WAFER RING)의 3차 연마용 지그에 관한 것이다. 이를 위해, 회전이 가능하게 탈착 가능한 지그 상판(22); 쿼츠 웨이퍼 링을 보호하는 패드(23); 쿼츠 웨이퍼 링의 이탈방지 및 고정용 캐리어(24);가 제공된다.
회전 PLATE(51)에 부착되어 회전가능한 상판(21)과, 접시형상으로 된 상판에 부착하는 보호패드(22), 보호패드(22)에 부착할수 있는 캐리어(23)가 있으며 이들 상판(21)과 보호패드(22)와 캐리어 (23)은 상호 양면테이프 및 본드로 접착되는 지그 장치
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