초록 ▼

본 발명은 프로브 카드 니들의 세정시스템에 관한 것으로, 보다 자세하게는 반도체 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트할 때 프로브 카드 니들 팁(PROBE CARD NEEDLE TIP)에 주기적으로 발생하는 이물질을 자동으로 세정하여 테스트 효율을 향상시키는 프로브 카드 니들의 세정시스템에 관한 것이다. 본 발명의 프로브 카드 니들의 세정시스템은 웨이퍼 패드로부터 프로브 니들에 탈착된 이물질을 자동세정부에 의해 제거함으로써, 프로브 니들 팁 끝단에 묻은 이물질로 인하여 웨이퍼의 전기적 특성 테스트시 발생할 수

본 발명은 프로브 카드 니들의 세정시스템에 관한 것으로, 보다 자세하게는 반도체 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트할 때 프로브 카드 니들 팁(PROBE CARD NEEDLE TIP)에 주기적으로 발생하는 이물질을 자동으로 세정하여 테스트 효율을 향상시키는 프로브 카드 니들의 세정시스템에 관한 것이다. 본 발명의 프로브 카드 니들의 세정시스템은 웨이퍼 패드로부터 프로브 니들에 탈착된 이물질을 자동세정부에 의해 제거함으로써, 프로브 니들 팁 끝단에 묻은 이물질로 인하여 웨이퍼의 전기적 특성 테스트시 발생할 수 있는 불필요한 오차를 줄일 수 있다.

대표청구항

상부에 웨이퍼를 올리고 상하운동을 하는 프로버 척과, 상기 프로버 척의 상하운동으로 상기 웨이퍼와 접촉을 하는 프로브 카드, 상기 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하기 위해 상기 프로브 카드에 구비된 프로브 카드 니들을 구비하는 프로브 시스템에 있어서, 상기 프로브 척의 일측에 구비되고, 상측에 브러쉬와 공기분사홀을 구비하며, 일측에 공기공급호스를 구비한 자동세정부 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 프로브 카드 니들의 세정시스템.

상부에 웨이퍼를 올리고 상하운동을 하는 프로버 척과, 상기 프로버 척의 상하운동으로 상기 웨이퍼와 접촉을 하는 프로브 카드, 상기 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하기 위해 상기 프로브 카드에 구비된 프로브 카드 니들을 구비하는 프로브 시스템에 있어서, 상기 프로브 척의 일측에 구비되고, 상측에 브러쉬와 공기분사홀을 구비하며, 일측에 공기공급호스를 구비한 자동세정부 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 프로브 카드 니들의 세정시스템.