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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0025842 (2005-03-29) |
공개번호 | 10-2006-0104030 (2006-10-09) |
등록번호 | 10-0653431-0000 (2006-11-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050025842 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-03-29) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 공기 중의 각종 화학물질, 특히 반도체 클린룸에 도입되는 외기에 포함된 암모니아, 산성가스 등의 기상 물질을 제거하기 위한 케미컬 필터에 관한 것으로서, 금속산화물, 금속수산화물, 금속염 또는 이들의 혼합물을 포함하는 금속화합물 10 내지 99중량%; 및 유기 결합제, 무기결합제 또는 이들의 혼합물 1 내지 90중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터용 흡착제를 제공한다. 본 발명에 따르면, 금속산화물, 금속수산화물, 금속염 또는 이들의 혼합물을 포함하는 금속화합물을 이용하여 케미컬 필터용 흡착제를 제조함으로써
금속산화물, 금속수산화물, 금속염 또는 이들의 혼합물을 포함하는 금속화합물 10 내지 99중량%; 및 유기 결합제, 무기 결합제 또는 이들의 혼합물 1 내지 90중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터용 흡착제.
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