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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0043849 (2005-05-24) |
공개번호 | 10-2006-0121597 (2006-11-29) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050043849 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 전기 도금에서의 도금 전극의 하지층의 제조 방법 중 하지층에 대한 도금 전처리 방법에 관한 것으로, 특히, 티타늄 제질의 하지층에 대한 백금 도금 전처리 방법에 관한 것이다.본 발명의 티타늄 하지체의 도금 전처리 방법은, 백금 도금 전에 티타늄 하지체에 대한 전처리 방법으로서 플라즈마 기법을 이용하여 하지체 표면의 접착 유기물 및 산화막을 제거하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따라 티타늄 하지체의 도금 전처리를 수행하면, 환경파괴 지수가 높고 작업시의 위험 요인이 되는 황산계나 불산계 수용액 폐기물이 발생하지 않는 효과
대상 하지체가 들어있는 플라즈마 챔버에 H2O 가스를 유입시켜 플라즈마 상태로 방전시키는 단계; 및상기 플라즈마 챔버에 CL2, BCL3, AR 중 하나 이상의 가스를 유입시켜 플라즈마 상태로 방전시키는 단계를 포함하는 티타늄 하지체의 도금 전처리 방법.
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