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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0076054 (2005-08-19) |
공개번호 | 10-2006-0023105 (2006-03-13) |
등록번호 | 10-0654218-0000 (2006-11-29) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050076054 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-08-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에 따른 액정패널의 외관 검사장치는, 조명조건을 여러 가지 바꿈으로써 액정패널의 상처나 먼지를 확실하게 촬영할 수 있도록 하기 위한 것이다. 또한 패널 반전장치를 고안함으로써, 반송장치를 1대로 끝냄과 동시에, 반전작업 사이에도 반송장치를 이용할 수 있도록 한다. 반송장치(16)를 이용하여 액정패널(36)을 프리얼라인먼트부(12)로부터 검사부(14)로 반송한다. 검사위치에 있는 액정패널(36)에 조명장치로부터 빛을 조사하여 촬상장치(98)로 촬영한다. 조명장치로는, 촬상방향에 평행한 방향으로부터 빛을 조사하는 동축 조명장치(
사각형의 액정패널을 검사 전에 위치 결정하는 프리얼라인먼트 장치;상기 액정패널을 검사위치에서 지지하는 검사대;상기 프리얼라인먼트 장치에서 상기 검사대로 상기 액정패널을 반송하는 반송장치;상기 검사위치에 있는 액정패널을, 상기 액정패널의 법선에 평행한 방향으로부터 촬상하는 촬상장치;상기 촬상장치의 촬상방향에 실질적으로 평행한 방향으로부터 상기 검사위치에 있는 액정패널에 빛을 조사하는 동축 조명장치;상기 촬상방향에 대하여 경사진 4방향으로서 상기 액정패널의 4변에 대응하는 4방향으로부터, 상기 검사위치에 있는 액정패널에 빛을 조사하는
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