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연합인증

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합성고분자류 또는 유도체 제조공정의 질소가스 가온장치및 이를 이용한 질소가스 공급방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B29C-033/04
출원번호 10-2005-0099629 (2005-10-21)
공개번호 10-2007-0043389 (2007-04-25)
등록번호 10-0742005-0000 (2007-07-16)
DOI http://doi.org/10.8080/1020050099629
발명자 / 주소
  • 이정수 / 경기 평택시 비전*동 현대아파트 ***동 ****호
출원인 / 주소
  • (주)라톤코리아 / 경기도 화성시 진안동 ***-***
대리인 / 주소
  • 정홍식 (Jeong, Hong Sik)
  • 서울 서초구 서초*동 ****-* 대림빌딩 *층 나우특허법률사무소
심사청구여부 있음 (2005-10-21)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

질소가스 가온장치 및 질소가스 공급방법이 개시된다. 개시된 질소가스 가온장치는, 질소가스를 수용하는 질소탱크; 상기 질소탱크의 일 측에 상기 질소탱크의 내부와 연통되도록 설치된 유입파이프; 상기 질소탱크의 타 측에 상기 질소탱크 내부에 연통되도록 설치된 배출파이프; 상기 질소탱크의 내부에 설치되어, 상기 질소탱크 내부의 질소가스 온도를 측정하는 과온감지센서; 상기 배기파이프를 통해 배출되는 질소가스 온도를 측정하는 배기온도감지센서; 및, 상기 과온감지센서 및 상기 배기온도 감지센서에서 감지되는 질소가스의 온도를 읽어들여 상기 히터온

대표청구항

질소가스를 수용하는 질소탱크;상기 질소탱크의 일 측에 상기 질소탱크의 내부와 연통되도록 설치된 유입파이프;상기 질소탱크의 타 측에 상기 질소탱크 내부에 연통되도록 설치된 배출파이프;상기 질소탱크의 내부에 설치되어, 상기 질소탱크 내부의 질소가스 온도를 측정하는 과온감지센서;상기 배기파이프를 통해 배출되는 질소가스 온도를 측정하는 배기온도감지센서; 및,상기 과온감지센서 및 상기 배기온도 감지센서에서 감지되는 질소가스의 온도를 읽어들여 상기 히터온도를 제어하는 온도콘드롤러를 포함하는 제어부;를 포함하며,모노마를 반응시켜 합성고분자 또는

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 반도체 및 엘씨디 생산 장비의 배출가스 퍼지용 질소가스보온/가열장치 | 이준상, 신혜련, 이일영
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