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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0117035 (2005-12-02) |
등록번호 | 10-0691851-0000 (2007-02-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050117035 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-12-02) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
개시된 진공흡착 이송장치는, 진공을 이용하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과, 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 소정의 위치에 안착시키기 위해 진공유닛을 수직으로 이송하는 수직이송장치 및 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 소정의 위치로 이송하기 위한 수평이송장치를 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성의 진공흡착 이송장치는 소재평판을 진공흡착에 의하여 이송하기 때 고온의 소재평판이라도 용이하게 이송할 수 있을 뿐 아니라, 저진공 및 고풍력의 진공펌프를 사용함으로써 경제적으로 유
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,상기 진공유닛은 에어흡입구와 팬(PAN) 및 에어배출구를 포함하여 구성되는 링 블로워(RING BLOWER)와, 상기 링 블로워와 연결된 픽업헤드(PICKUP HEAD) 및 상기 픽업헤드에 결합되어 소재평판을 흡착하는 진공흡착패드를 포함하여 구성되고,상기 링 블로워는
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