최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2005-0123490 (2005-12-14) |
공개번호 | 10-2007-0063356 (2007-06-19) |
등록번호 | 10-1264420-0000 (2013-05-08) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050123490 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2010-12-03) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 금속용 세정제에 관한 것으로, 상세하게는 불소 함유 화합물, 부식방지제 및 물을 포함하는 금속용 세정제에 관한 것이다.본 발명에 따른 세정제는, 세정공정 중 원하는 부분의 막증착을 위해 사용된 금속 마스크 및 금속 기판에 증착된 산화막 및/또는 질화막을 깨끗하게 제거할 뿐만 아니라 금속막의 부식을 발생시키지 않는다. 또한, 본 발명에 따른 세정제는, 실온에서 세정하는 것이 가능하기 때문에 금속의 뒤틀림이나 변형이 생기지 않고 반복 사용이 가능하다.
불소 함유 화합물 1~3중량%, 부식방지제 0.1~1중량% 및 잔량의 물을 포함하고,상기 부식방지제는 티오글리콜(Thioglycol), 티오글리세롤(thioglycerol), 티오글리콜산(Thioglycolic acid), 티오디아세트산(Thiodiacetic acid), 티오아세트산(thioacetic acid), 티오디에탄올(thiodiethanol) 및 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 것임을 특징으로 하는 금속용 세정제.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.