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연합인증

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스토카 내부의 공기 순환 구조 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
출원번호 10-2005-0132556 (2005-12-28)
공개번호 10-2007-0069903 (2007-07-03)
DOI http://doi.org/10.8080/1020050132556
발명자 / 주소
  • 장석경 / 서울 구로구 구로동 *** 구로두산아파트 ***-***
출원인 / 주소
  • 동부일렉트로닉스 주식회사 / 서울 강남구 대치동 ***-**
대리인 / 주소
  • 서만규 (SUH, Man Kyu)
  • 서울 강남구 역삼*동 ***-* 세방빌딩 본관 *층(성암국제특허법률사무소)
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본 발명은 반도체를 저장하는 스토카의 외벽을 내측으로 기울어지도록 하여 팬 필터 유닛에서 멀어질수록 스토카의 에어 덕트의 폭이 좁아져 에어 덕트의 풍압이 전체적으로 일정한 상태를 유지하도록 하여 반도체 저장 환경의 악화를 방지하는 스토카 내부의 공기 순환 구조에 관한 것으로서, 반도체를 저장하는 스토카에 있어서, 기울기가 변화될 수 있도록 설치되는 스토카 외벽, 상기 스토카 외벽의 외부에 설치되어 스토카 외벽의 기울기를 변화시키는 콘트롤 레버로 구성된다.

대표청구항

수납 선반과 선반의 하부에 설치되어 에어를 공급해주는 팬 필터 유닛으로 구성되어 반도체를 저장하는 스토카에 있어서, 기울기가 변화될 수 있도록 설치되는 스토카 외벽, 상기 스토카 외벽의 외부에 설치되어 스토카 외벽의 기울기를 변화시키는 콘트롤 레버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스토카 내부의 공기 순환 구조.

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