초록 ▼

본 발명은 건물구조에 속하는 기술로서, 보다 자세하게는 반도체 또는 엘시디(LCD) 제조공장, 등과 같이 정밀장비가 운용되어 고도로 정숙한 진동환경이 요구되는 건물의 저진동 구조에 관한 기술이다. 본 발명인 현수식 복층 클린룸 구조는 건물의 기본바닥의 하부의 지지보에 현수기둥이 설치되고, 이 현수기둥의 하단에 수평보가 볼트 또는 용접으로 설치된다. 그리고 상기 수평보 상부에 콘크리트 또는 철판으로 바닥이 설치된다.본 발명의 클린룸은 건물의 주요바닥의 상부를 정숙한 진동환경을 요구하는 정밀 가공실로 사용할 수 있어 진동환경이 크게

본 발명은 건물구조에 속하는 기술로서, 보다 자세하게는 반도체 또는 엘시디(LCD) 제조공장, 등과 같이 정밀장비가 운용되어 고도로 정숙한 진동환경이 요구되는 건물의 저진동 구조에 관한 기술이다. 본 발명인 현수식 복층 클린룸 구조는 건물의 기본바닥의 하부의 지지보에 현수기둥이 설치되고, 이 현수기둥의 하단에 수평보가 볼트 또는 용접으로 설치된다. 그리고 상기 수평보 상부에 콘크리트 또는 철판으로 바닥이 설치된다.본 발명의 클린룸은 건물의 주요바닥의 상부를 정숙한 진동환경을 요구하는 정밀 가공실로 사용할 수 있어 진동환경이 크게 개선되고, 방진에 필요한 비용을 절감할 수 있다. 그리고, 별도의 무거운 제진대 등을 사용할 필요가 없어 건물 구조에 하중부담을 경감시키고, 건물의 층고를 낮게 할 수 있어서 건축비를 절감할 수 있다. 또한, 진동에 민감한 노광기 등 주요 정밀가공 장비들을 건물의 주요바닥에 직접 설치할 수 있으므로 클린룸 내부의 장비 배치에 융통성이 크다.

대표청구항

클린룸 건물의 기본바닥의 하부에 있는 격자보에 수직 하방으로 고정되는 다수개의 현수기둥(10);상기 현수기둥의 하단을 서로 연결하여 설치되는 다수개의 수평보(20);그리고 상기 수평보 상부에 설치되는 바닥(30);을 포함하여 구성되어, 건물의 기본바닥의 상부는 FAB층이 되고, PLENUM층이 기본바닥의 하부에 매달린 형태로 건축되는, 현수식 복층 클린룸 구조.

클린룸 건물의 기본바닥의 하부에 있는 격자보에 수직 하방으로 고정되는 다수개의 현수기둥(10);상기 현수기둥의 하단을 서로 연결하여 설치되는 다수개의 수평보(20);그리고 상기 수평보 상부에 설치되는 바닥(30);을 포함하여 구성되어, 건물의 기본바닥의 상부는 FAB층이 되고, PLENUM층이 기본바닥의 하부에 매달린 형태로 건축되는, 현수식 복층 클린룸 구조.