초록 ▼

본 발명은 방사선 검출기 패널(radiation detector panel) 제조 시, 하부 마스크에 거치된 티에프티 어레이 패널(TFT array panel) 위에 광도전 물질의 침전시 액티브(active) 영역에만 침전되게 하고 전기적 컨텍트(electrical contact) 부분에는 증착되지 않게 하는 커버 마스크(cover mask)를 위치시키고 상기 커버 마스크의 상측에 부착되어 상기 티에프티(TFT) 패널의 전체 영역을 밀봉시키는 상부마스크로 구성되는 방사선 검출기 패널 제조용 광도전물질 침전 마스크에 있어서, 상기 티

본 발명은 방사선 검출기 패널(radiation detector panel) 제조 시, 하부 마스크에 거치된 티에프티 어레이 패널(TFT array panel) 위에 광도전 물질의 침전시 액티브(active) 영역에만 침전되게 하고 전기적 컨텍트(electrical contact) 부분에는 증착되지 않게 하는 커버 마스크(cover mask)를 위치시키고 상기 커버 마스크의 상측에 부착되어 상기 티에프티(TFT) 패널의 전체 영역을 밀봉시키는 상부마스크로 구성되는 방사선 검출기 패널 제조용 광도전물질 침전 마스크에 있어서, 상기 티에프티(TFT) 패널의 인액티브 영역(inactive area)에 기체 분자가 스며들지 않도록 상기 커버 마스크를 상기 티에프티 패널에 실리콘 본드로 고정결합시키는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기 패널 제조용 광도전물질 침전 마스크에 관한 것이다.또한, 커버 마스크를 디자인함에 있어, 티에프티 어레이(TFT array) 위에 침전(deposition)된 광도전 층의 접착력을 향상시키기 위해 커버 마스크의 내부 가장자리의 날을 각을 주어 제작하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

방사선 검출기 패널(RADIATION DETECTOR PANEL) 제조 시, 하부 마스크에 거치된 티에프티 어레이 패널(TFT ARRAY PANEL) 위에 광도전 물질의 침전시 액티브(ACTIVE) 영역에만 침전되게 하고 전기적 컨텍트(ELECTRICAL CONTACT) 부분에는 증착되지 않게 하는 커버 마스크(COVER MASK)를 위치시키고 상기 커버 마스크의 상측에 부착되어 상기 티에프티(TFT) 패널의 전체 영역을 밀봉시키는 상부마스크로 구성되는 방사선 검출기 패널 제조용 광도전물질 침전 마스크에 있어서,상기 티에프티(TFT

방사선 검출기 패널(RADIATION DETECTOR PANEL) 제조 시, 하부 마스크에 거치된 티에프티 어레이 패널(TFT ARRAY PANEL) 위에 광도전 물질의 침전시 액티브(ACTIVE) 영역에만 침전되게 하고 전기적 컨텍트(ELECTRICAL CONTACT) 부분에는 증착되지 않게 하는 커버 마스크(COVER MASK)를 위치시키고 상기 커버 마스크의 상측에 부착되어 상기 티에프티(TFT) 패널의 전체 영역을 밀봉시키는 상부마스크로 구성되는 방사선 검출기 패널 제조용 광도전물질 침전 마스크에 있어서,상기 티에프티(TFT) 패널의 인액티브 영역(INACTIVE AREA)에 기체 분자가 스며들지 않도록 상기 커버 마스크를 상기 티에프티 패널에 실리콘 본드로 고정결합시키는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기 패널 제조용 광도전물질 침전 마스크.