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전자빔 궤적 제어가 가능한 전계 방출 장치 및 그 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01J-001/30
출원번호 10-2006-0056207 (2006-06-22)
공개번호 10-2007-0059870 (2007-06-12)
등록번호 10-0796975-0000 (2008-01-16)
DOI http://doi.org/10.8080/1020060056207
발명자 / 주소
  • 정진우 / 대구 수성구 파동 ***-***
  • 송윤호 / 대전 서구 정림동 우성아파트 ***-***
  • 김대준 / 대전 서구 만년동 상아아파트 ***-***
출원인 / 주소
  • 한국전자통신연구원 / 대전 유성구 가정동 ***번지
대리인 / 주소
  • 신영무 (SHIN, Young Moo)
  • 서울 중구 순화동 *-*** 에이스타워 *층
심사청구여부 있음 (2006-06-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

본 발명은 전계 방출 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판 상에 전자빔의 발산 또는 집속의 선택에 따라 그 설치 면적/폭이 정해지는 캐소드 전극을 형성하며, 캐소드 전극에 전기적으로 접속되는 에미터를 형성하며, 기판에 접합되는 절연체 층과 이 절연체 층에 설치되며 에미터에 대응하는 개구부 및 절연체 층의 일면에 설치되는 게이트 전극을 구비한 절연체 기판을 준비하며, 개구부 중심부에 에미터가 위치하도록 캐소드 전극과 에미터가 설치된 캐소드 기판과 절연체 기판을 접합하는 단계들을 포함하는 전계 방출 장치의 제조방법을 제

대표청구항 ▼

기판 상에 전자빔의 발산 또는 집속의 선택에 따라 그 설치면적이 정해지는 캐소드 전극을 형성하는 단계;상기 캐소드 전극에 전기적으로 접속되는 에미터를 형성하는 단계;상기 기판에 접합되는 절연체 층과, 상기 절연체 층에 설치되며 상기 에미터에 대응하는 개구부, 및 상기 절연체 층의 일면에 설치되는 게이트 전극을 구비한 절연체 기판을 준비하는 단계; 및상기 캐소드 전극 및 상기 에미터가 구비된 상기 기판에 상기 절연체 기판을 접합하는 단계를 포함하는 전계 방출 장치의 제조방법.제 1 항에 있어서, 상기 캐소드 전극을 형성하는 단계는 상

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 전계방출 디스플레이장치 및 이의 제조방법과 전계방출디스플레이장치의 노말 게이트 구조 형성방법 | 석봉경, 노기현, 장동수
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  2. [한국] 전자 방출 표시장치 | 전상호, 이병곤
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