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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2006-0056207 (2006-06-22) |
공개번호 | 10-2007-0059870 (2007-06-12) |
등록번호 | 10-0796975-0000 (2008-01-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060056207 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-06-22) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 전계 방출 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판 상에 전자빔의 발산 또는 집속의 선택에 따라 그 설치 면적/폭이 정해지는 캐소드 전극을 형성하며, 캐소드 전극에 전기적으로 접속되는 에미터를 형성하며, 기판에 접합되는 절연체 층과 이 절연체 층에 설치되며 에미터에 대응하는 개구부 및 절연체 층의 일면에 설치되는 게이트 전극을 구비한 절연체 기판을 준비하며, 개구부 중심부에 에미터가 위치하도록 캐소드 전극과 에미터가 설치된 캐소드 기판과 절연체 기판을 접합하는 단계들을 포함하는 전계 방출 장치의 제조방법을 제
기판 상에 전자빔의 발산 또는 집속의 선택에 따라 그 설치면적이 정해지는 캐소드 전극을 형성하는 단계;상기 캐소드 전극에 전기적으로 접속되는 에미터를 형성하는 단계;상기 기판에 접합되는 절연체 층과, 상기 절연체 층에 설치되며 상기 에미터에 대응하는 개구부, 및 상기 절연체 층의 일면에 설치되는 게이트 전극을 구비한 절연체 기판을 준비하는 단계; 및상기 캐소드 전극 및 상기 에미터가 구비된 상기 기판에 상기 절연체 기판을 접합하는 단계를 포함하는 전계 방출 장치의 제조방법.제 1 항에 있어서, 상기 캐소드 전극을 형성하는 단계는 상
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