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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2006-0059217 (2006-06-29) |
공개번호 | 10-2008-0001100 (2008-01-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060059217 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 코팅 장치에 관한 것으로서, 특히 레진(resin)을 코팅하는 스핀리스 코팅 장치(spinless coater) 및 그 운용 방법에 관한 것이다.본 발명은 코팅 장치에서, 기판에 레진을 코팅하는 과정에서 기판 하부의 척 상에 이물이 존재하는 것을 방지하고, 척의 일측에서 질소를 주입하고 다른측에서 배기함으로써 발생된 질소 플로우(N flow)를 이용하여 별도의 구동 없이 이물을 제거할 수 있다.
기판이 올려지는 척과;상기 기판 상에 코팅 물질을 도포하는 노즐부와;상기 척의 측부에 배치되어 가스를 분사하는 적어도 하나 이상의 가스 분사부와;상기 척의 다른 측부에 배치되어 가스를 배기하는 적어도 하나 이상의 배기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
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