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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2006-0062836 (2006-07-05) |
공개번호 | 10-2008-0004174 (2008-01-09) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060062836 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
회전 구동부내 스핀 모터의 회전수를 모니터링 하여 제어하는 회전 제어 시스템과 회전 제어 방법이 개시되어 있다. 회전 제어 시스템은 웨이퍼를 회전시키는 스핀 모터를 구비하는 회전 구동부, 웨이퍼의 회전수를 측정하는 측정부 및 측정된 웨이퍼의 회전수를 이용하여 회전 구동부의 회전을 제어하는 제어부를 포함한다. 측정된 웨이퍼의 회전수를 이용하여, 회전 구동부의 회전수를 예측하고, 이를 바탕으로 회전 구동부의 열화를 미리 알 수 있게 되며, 제어부는 다시 회전 구동부의 회전을 적절하게 제어함으로써, 공정 불량을 미리 예방할 수 있다.
웨이퍼를 회전시키는 스핀 모터를 포함하는 회전 구동부;상기 웨이퍼의 회전수를 측정하는 측정부; 및상기 측정된 웨이퍼의 회전수를 이용하여, 상기 회전 구동부내 스핀 모터의 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 제어 시스템.
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