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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2006-0127907 (2006-12-14) |
공개번호 | 10-2008-0055054 (2008-06-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060127907 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 박막 코팅용 타겟의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은, 기판을 제조하는 기판 제조 단계, 기판의 표면에 코팅층을 형성하는 코팅 단계, 및 기판을 백 플레이트에 접합시키는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법을 제공한다.본 발명에 의하는 경우, 기판의 표면에 구리 코팅층을 형성함으로써 기판과 백 플레이트의 계면을 용이하게 접합함으로써 기판과 백 플레이트가 강한 결합을 이루고 백 플레이트의 방열 성능 또한 향상되는 효과가 있다.
기판을 제조하는 기판 제조 단계;상기 기판의 표면에 코팅층을 형성하는 코팅 단계; 및상기 기판을 백 플레이트에 접합시키는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법.
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