[특허]박막 코팅용 타겟의 제조 방법

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박막 코팅용 타겟의 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	C23C-014/34
출원번호	10-2006-0127907 (2006-12-14)
공개번호	10-2008-0055054 (2008-06-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020060127907
발명자 / 주소	김형준 / 경상북도 포항시 남구 지곡동 교수아파트 동 *호 김성욱 / 서울특별시 성동구 사근동 -* 박동룡 / 경상북도 포항시 남구 효자동 산*번지 RIST 창업보육센타실험동 P**호 김주호 / 경북 포항시 남구 효자동 산
출원인 / 주소	(주)태광테크 / 경북 경주시 천북면 오야리 *- 경주천북지방산업단지 *블럭롯트 재단법인 포항산업과학연구원 / 경북 포항시 남구 효자동 산-**번지
대리인 / 주소	유미특허법인 (YOU ME Patent & Law Firm) 서울특별시 강남구 역삼동 *- 서림빌딩**층(유미특허법인)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

본 발명은 박막 코팅용 타겟의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은, 기판을 제조하는 기판 제조 단계, 기판의 표면에 코팅층을 형성하는 코팅 단계, 및 기판을 백 플레이트에 접합시키는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법을 제공한다.본 발명에 의하는 경우, 기판의 표면에 구리 코팅층을 형성함으로써 기판과 백 플레이트의 계면을 용이하게 접합함으로써 기판과 백 플레이트가 강한 결합을 이루고 백 플레이트의 방열 성능 또한 향상되는 효과가 있다.

대표청구항

기판을 제조하는 기판 제조 단계;상기 기판의 표면에 코팅층을 형성하는 코팅 단계; 및상기 기판을 백 플레이트에 접합시키는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 물리적 증기 증착 타겟/백플레이트 조립체 및 물리적 증기증착 타겟/백플레이트 조립체를 형성하는 방법 | 코헬론디., 쿠퍼매튜에스.
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[유럽] Cold gas dynamic spraying of high strength copper | HAYNES JEFFREY D
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[한국] 이종 도체 슬리브 제조방법 | 천창근, 김형준, 김현주, 박정기, 박성민, 홍동석
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[한국] 원소재 절감형 은 함유 타겟-백킹 플레이트 조립체 및 이의 제조방법 | 이효원, 홍길수, 양승호, 윤원규
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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