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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
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연마 테이프 및 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B24D-011/00
  • B24B-021/00
  • B24B-009/00
  • H01L-021/304
출원번호 10-2006-7006500 (2006-04-04)
공개번호 10-2007-0085030 (2007-08-27)
국제출원번호 PCT/JP2005/012926 (2005-07-13)
국제공개번호 WO2006054378 (2006-05-26)
번역문제출일자 2006-04-04
DOI http://doi.org/10.8080/1020067006500
발명자 / 주소
  • 구마사까 노리유끼 / 일본 ******* 도꾜도 아끼시마시 무사시노 *쪼메 *방 *고 니혼미크로 코팅 가부시끼 가이샤 내
출원인 / 주소
  • 니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤 / 일본 *** 도꾜도 아끼시마시 무사시노 *쪼메 *방 *고
대리인 / 주소
  • 성재동; 장수길 (Sung Jae Dong)
  • 서울시 종로구 신문로*가 ***번지 흥국생명빌딩 *층(김.장법률사무소); 서울 종로구 내자동 세양빌딩 (김.장법률사무소)
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본 발명은 금속류에 의한 워크의 오염이 없이, 워크의 에지를 높은 연마 비율로 평활하게 연마할 수 있는 연마 테이프 및 방법을 제공하는 것이다. 워크(20)의 에지(21)에 연마 테이프(30)를 압박하면서, 워크의 에지에 따라서 접촉 패드(12) 또는 접촉 롤러(13)를 간헐적 또는 연속적으로 왕복 이동시켜 워크 에지의 표면 부분(22), 단부면 부분(23) 및 이면 부분(24)을 연마한다. 연마 테이프(30)는 평균 입경 0.1 ㎛ 내지 16 ㎛의 다이아몬드 입자를 결합제로 고정한 연마층을 갖는다. 연마 테이프(30)를 바꿔

대표청구항

원반형의 워크의 에지를 연마하기 위한 연마 테이프이며, 베이스 필름과,다이아몬드 입자를 결합제로 고정한 연마층으로 이루어지고, 상기 연마층이, 상기 베이스 필름의 표면에 형성되고, 상기 다이아몬드 입자의 평균 입경이 0.1 ㎛ 내지 16 ㎛의 범위에 있고, 상기 연마층 중에 있어서의, 상기 결합제에 대한 상기 다이아몬드 입자의 비율이 40 중량 % 내지 80 중량 %의 범위에 있는 연마 테이프.제1항에 있어서, 상기 베이스 필름의 두께가 8 ㎛ 내지 100 ㎛의 범위에 있고, 상기 베이스 필름의 인장 강도가 20 ㎏/㎟ 이상의 범위

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