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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2007-0001464 (2007-01-05) |
| 공개번호 | 10-2008-0064489 (2008-07-09) |
| 등록번호 | 10-1171769-0000 (2012-08-01) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020070001464 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2010-12-29) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
대면적 대상물의 진행 방향에 대해 폭 방향으로 배치되는 스퍼터링용 타겟 장치는 중앙 표면 및 중앙 표면의 양단에서 소정의 단차를 갖고 낮게 형성되는 적어도 하나의 단차 표면을 포함하는 백킹 플레이트, 백킹 플레이트의 중앙 표면에 장착되는 기준 타겟재, 및 백킹 플레이트의 단차 표면에 장착되는 보강 타겟재를 구비한다. 대면적 대상물에 스퍼터링을 하는 경우, 침식의 양을 고려하여 최적화된 타겟 분포를 형성할 수가 있다.
대면적 대상물의 진행 방향에 대해 폭 방향으로 배치되는 스퍼터링용 타겟 장치에 있어서,중앙 표면 및 상기 중앙 표면의 양단으로부터 단차를 가지고 순차적으로 낮게 형성되는 복수개의 단차 표면을 포함하는 백킹 플레이트;상기 백킹 플레이트의 중앙 표면에 장착되는 기준 타겟재; 및상기 백킹 플레이트의 단차 표면에 장착되는 복수개의 보강 타겟재;를 구비하고,상기 기준 타겟재 및 상기 보강 타겟재들의 노출되는 표면 중 상호 이웃하는 표면들 간은 1mm 이내의 단차를 유지하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 타겟 장치.
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