최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2007-0012577 (2007-02-07) |
등록번호 | 10-0791638-0000 (2007-12-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070012577 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2007-02-07) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 급속열화학기상증착법을 이용한 액상 촉매 전구체로부터의 탄소나노튜브의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 액상 촉매 전구체를 열화학기상증착 장치 내부의 보트에 적재하고 불활성 기체 분위기 하의 500℃ 내지 600℃의 온도에서 연소시키는 단계; 상기 열화학기상증착 장치 내부의 온도를 600℃ 내지 1000℃까지 상승시킨 후, 일정 온도를 유지하면서 산소 기체를 공급하여 하소시키는 단계; 및 상기 열화학기상증착 장치 내부의 온도를 상기 하소 단계의 온도와 동일한 온도로 유지하면서 기상 탄소 공급원, H2 기체 및 불
대표청구항이 없습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.