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급속열화학기상증착법을 이용한 액상 촉매 전구체로부터의탄소나노튜브의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • B82B-003/00
출원번호 10-2007-0012577 (2007-02-07)
등록번호 10-0791638-0000 (2007-12-27)
DOI http://doi.org/10.8080/1020070012577
발명자 / 주소
  • 이철진 / 서울 강남구 삼성동 삼부아그레빌아파트 ***호
  • 전경용 / 서울 성동구 응봉동 대림강변아파트 ***동 ***호
출원인 / 주소
  • 고려대학교 산학협력단 / 서울 성북구 안암동*가* 고려대학교 내
대리인 / 주소
  • 현종철 (Hyun Jong Cheol)
  • 서울 중구 신당*동 ***-** 두지빌딩*층(현종철 국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2007-02-07)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 급속열화학기상증착법을 이용한 액상 촉매 전구체로부터의 탄소나노튜브의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 액상 촉매 전구체를 열화학기상증착 장치 내부의 보트에 적재하고 불활성 기체 분위기 하의 500℃ 내지 600℃의 온도에서 연소시키는 단계; 상기 열화학기상증착 장치 내부의 온도를 600℃ 내지 1000℃까지 상승시킨 후, 일정 온도를 유지하면서 산소 기체를 공급하여 하소시키는 단계; 및 상기 열화학기상증착 장치 내부의 온도를 상기 하소 단계의 온도와 동일한 온도로 유지하면서 기상 탄소 공급원, H2 기체 및 불

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