초록 ▼

본 발명은 마이크로/나노 스케일의 인장시험에 사용되는 VIT시스템에 관한 것으로, 더 상세하게는 인장시험시 길이방향으로의 변형률과 폭방향으로의 변형률을 동시에 실시간으로 측정하여 이 값에 의해 푸아송비를 즉시 계산하도록 하는 변위/변형률 측정을 위한 VIT시스템 및 이를 이용한 변위/변형률과 푸아송비의 실시간 측정방법에 관한 것이다.본 발명의 VIT시스템 및 측정방법은 다수의 마커가 표시된 마이크로/나노 시편을 구동기인 PTZ엑츄에이터 와 하중계인 로드셀 사이에 고정시키고, 상기 시편에 인장력을 가한 후 시편에 표시된 마커간의 거리

본 발명은 마이크로/나노 스케일의 인장시험에 사용되는 VIT시스템에 관한 것으로, 더 상세하게는 인장시험시 길이방향으로의 변형률과 폭방향으로의 변형률을 동시에 실시간으로 측정하여 이 값에 의해 푸아송비를 즉시 계산하도록 하는 변위/변형률 측정을 위한 VIT시스템 및 이를 이용한 변위/변형률과 푸아송비의 실시간 측정방법에 관한 것이다.본 발명의 VIT시스템 및 측정방법은 다수의 마커가 표시된 마이크로/나노 시편을 구동기인 PTZ엑츄에이터 와 하중계인 로드셀 사이에 고정시키고, 상기 시편에 인장력을 가한 후 시편에 표시된 마커간의 거리를 측정하여 변형률을 측정하는 광학계 및 CCD카메라로 구성된 VIT시스템에 있어서, 상기 시스템은 구동기와 하중계가 설치된 베드에 XY축으로 조정가능하게 장착된 주축대와, 상기 주축대의 일측에 Z축 방향으로 이동가능하게 장착된 이동대로 구성되는데; 상기 이동대는 하부에 줌렌즈와 튜브렌즈를 순차적으로 설치하여 줌렌즈로부터 측정된 상을 튜브렌즈로 결상하여 빔스플리터에 의해 수직방향과 수평방향으로 분광되도록 하고, 상기 분광된 수직방향의 영상은 줌렌즈와 정수직 상방에 설치된 제1 CCD카메라에 공급되어 시편의 길이방향 변형률을 측정하도록 하고, 상기 분광된 수평방향의 영상은 상기 제1 CCD카메라와 줌렌즈를 연결한 선상과 교차되는 방향에 설치된 제2 CCD카메라에 공급되어 시편의 폭방향 변형률을 측정하도록 한다.

대표청구항 ▼

다수의 마커가 표시된 마이크로/나노 시편을 구동기인 PTZ엑츄에이터 와 하중계인 로드셀 사이에 고정시키고, 상기 시편에 인장력을 가한 후 시편에 표시된 마커간의 거리를 측정하여 변형률을 측정하는 광학계와 CCD카메라로 구성된 VIT시스템에 있어서,상기 시스템(10)은 구동기(20)와 하중계(30)가 설치된 베드에 XY축으로 조정가능하게 장착된 주축대(50)와, 상기 주축대의 일측에 Z축 방향으로 이동가능하게 장착된 이동대(60)로 구성되는데;상기 이동대(60)는 하부에 줌렌즈(61)와 튜브렌즈(62)를 순차적으로 설치하여 줌렌즈로부

다수의 마커가 표시된 마이크로/나노 시편을 구동기인 PTZ엑츄에이터 와 하중계인 로드셀 사이에 고정시키고, 상기 시편에 인장력을 가한 후 시편에 표시된 마커간의 거리를 측정하여 변형률을 측정하는 광학계와 CCD카메라로 구성된 VIT시스템에 있어서,상기 시스템(10)은 구동기(20)와 하중계(30)가 설치된 베드에 XY축으로 조정가능하게 장착된 주축대(50)와, 상기 주축대의 일측에 Z축 방향으로 이동가능하게 장착된 이동대(60)로 구성되는데;상기 이동대(60)는 하부에 줌렌즈(61)와 튜브렌즈(62)를 순차적으로 설치하여 줌렌즈로부터 측정된 상을 튜브렌즈로 결상하여 빔스플리터(63)에 의해 수직방향과 수평방향으로 분광되도록 하고, 상기 분광된 수직방향의 영상은 줌렌즈와 정수직 상방에 설치된 제1 CCD카메라(64)에 공급되어 시편의 길이방향 변형률을 측정하도록 하고, 상기 분광된 수평방향의 영상은 상기 제1 CCD카메라와 줌렌즈를 연결한 선상과 교차되는 방향에 설치된 제2 CCD카메라(65)에 공급되어 시편의 폭방향 변형률을 측정하도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로/나노 스케일에서 변위/변형률 측정을 위한 VIT시스템.