초록 ▼

본 발명은 압전 박막 디바이스에 있어서, 압전체 박막을 구성하는 압전 재료나 압전체 박막에 있어서의 결정 방위의 선택 자유도를 높이는 것을 목적으로 한다.4개의 압전 박막 공진자(R11∼R14)를 포함하는 압전 박막 필터(1)는 압전 박막 필터(1)의 필터 기능을 제공하는 필터부(11)와, 필터부(11)를 기계적으로 지지하는 평탄한 베이스 기판(13)을 접착층(12)을 사이에 두고 접착한 구조를 갖고 있다. 압전 박막 필터(1)의 제조에 있어서는 압전체 기판을 제거 가공함으로써 압전체 박막(111)을 얻고 있지만, 제거 가공에 의

본 발명은 압전 박막 디바이스에 있어서, 압전체 박막을 구성하는 압전 재료나 압전체 박막에 있어서의 결정 방위의 선택 자유도를 높이는 것을 목적으로 한다.4개의 압전 박막 공진자(R11∼R14)를 포함하는 압전 박막 필터(1)는 압전 박막 필터(1)의 필터 기능을 제공하는 필터부(11)와, 필터부(11)를 기계적으로 지지하는 평탄한 베이스 기판(13)을 접착층(12)을 사이에 두고 접착한 구조를 갖고 있다. 압전 박막 필터(1)의 제조에 있어서는 압전체 기판을 제거 가공함으로써 압전체 박막(111)을 얻고 있지만, 제거 가공에 의해 얻어지는 압전체 박막(111)은 단독으로 자중(自重)에 견딜 수 없기 때문에, 제거 가공에 앞서 압전체 기판을 포함하는 소정의 부재를 지지체가 되는 베이스 기판(13)에 미리 접착해 둔다.

대표청구항

단수 또는 복수의 압전 박막 공진자를 포함하는 압전 박막 디바이스의 제조 방법으로서,압전체 기판을 포함하는 소정의 부재를 제작하는 제작 공정;상기 부재를 지지체에 접착하는 접착 공정; 및상기 부재를 상기 지지체에 접착한 상태를 유지한 채로 상기 압전체 기판을 제거 가공함으로써 압전체 박막을 얻는 제거 가공 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 박막 디바이스의 제조 방법.

단수 또는 복수의 압전 박막 공진자를 포함하는 압전 박막 디바이스의 제조 방법으로서,압전체 기판을 포함하는 소정의 부재를 제작하는 제작 공정;상기 부재를 지지체에 접착하는 접착 공정; 및상기 부재를 상기 지지체에 접착한 상태를 유지한 채로 상기 압전체 기판을 제거 가공함으로써 압전체 박막을 얻는 제거 가공 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 박막 디바이스의 제조 방법.