초록

본 발명은, 고감도화하는 것이 가능한 진동 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.이를 해결하기 위하여, 본 발명은, 베이스부와 베이스부로부터 연장되는 복수의 아암부(11, 12)를 갖는 음차형 진동자(10)와, 음차형 진동자를 실장하는 실장부(20)와, 음차형 진동자(10)를 실장부(20)에 실장시키는 복수의 지지부(32)를 구비하는 것을 특징으로 하는 진동 센서이다. 본 발명에 따르면, 음차형 진동자(10)의 임피던스를 저감하여, 진동 센서를 고감도화할 수 있다．

대표청구항 ▼

베이스부와 상기 베이스부로부터 연장되는 복수의 아암부를 갖는 음차형 진동자와, 상기 음차형 진동자를 실장하는 실장부와, 상기 음차형 진동자를 상기 실장부에 실장시키는 복수의 지지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 복수의 범프인 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 상기 음차형 진동자와 상기 실장부를 전기적으로 접속하는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 상기 음차형 진동자의 노드를 지지부가

베이스부와 상기 베이스부로부터 연장되는 복수의 아암부를 갖는 음차형 진동자와, 상기 음차형 진동자를 실장하는 실장부와, 상기 음차형 진동자를 상기 실장부에 실장시키는 복수의 지지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 복수의 범프인 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 상기 음차형 진동자와 상기 실장부를 전기적으로 접속하는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 상기 음차형 진동자의 노드를 지지부가 형성되는 면에 투영한 노드선에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 지지부는 상기 음차형 진동자의 노드를 지지부가 형성되는 면에 투영한 노드선에 대하여 대략 대칭으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 음차형 진동자의 실장부로의 실장을 보강하기 위한 수지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제6항에 있어서, 상기 수지부는, 상기 음차형 진동자의 노드를 지지부가 형성되는 면에 투영한 노드선에 대하여 대략 대칭으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제6항에 있어서, 상기 수지부의 상기 음차형 진동자의 노드에 수직인 단면 형상이, 상기 노드를 포함하고 상기 음차형 진동자의 면내 진동면에 수직인 면에 대하여 대략 대칭인 것을 특징으로 하는 진동 센서.제6항에 있어서, 상기 수지부는, 상기 음차형 진동자와 상기 실장부 사이에 대략 균일하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제6항에 있어서, 상기 실장부의 상기 지지부가 실장되는 영역으로부터 상기 음차형 진동자의 외측의 상기 실장부에 걸쳐 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 센서.제6항에 있어서, 상기 실장부의 상기 지지부가 실장된 영역의 상기 실장부의 상면은, 상기 음차형 진동자의 상기 아암부측의 상기 실장부의 상면에 대하여 높은 것을 특징으로 하는 진동 센서.