초록

본 발명은 발생되는 먼지를 확실하게 포착하여 클린룸을 오염시키지 않는 승강 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.이를 위해, 승강 장치(1)의 마스트 본체(3)는 개구부(5)를 구비하고 있고, 팬 필터 유닛(4)이 내장되어 일체화되어 있다.

대표청구항 ▼

마스트와 그 마스트에 따라서 승강가능한 승강대를 가지고, 상기 마스트의 상단 근방에 상기 승강대를 지지하는 매달림 지지재를 리턴시키는 기구가 설치되어 있고, 또한 상기 마스트의 하단 근방에 승강 구동부가 설치되어 있는 승강 장치에 있어서,상기 마스트는,마스트 본체와 커버를 구비하고,상기 마스트 본체의 외측 측면의 상단부와 하단부 양쪽 모두에 개구부가 설치되어 상기 개구부에 먼지를 흡인하는 팬 필터 유닛이 고정되고, 또한, 상기 마스트 본체의 단면 형상이 사각형이고, 그 사각형의 한 변에 커버를 부착함으로써 상기 팬 필터 유닛의 수용

마스트와 그 마스트에 따라서 승강가능한 승강대를 가지고, 상기 마스트의 상단 근방에 상기 승강대를 지지하는 매달림 지지재를 리턴시키는 기구가 설치되어 있고, 또한 상기 마스트의 하단 근방에 승강 구동부가 설치되어 있는 승강 장치에 있어서,상기 마스트는,마스트 본체와 커버를 구비하고,상기 마스트 본체의 외측 측면의 상단부와 하단부 양쪽 모두에 개구부가 설치되어 상기 개구부에 먼지를 흡인하는 팬 필터 유닛이 고정되고, 또한, 상기 마스트 본체의 단면 형상이 사각형이고, 그 사각형의 한 변에 커버를 부착함으로써 상기 팬 필터 유닛의 수용부가 형성되는 것에 의해,상기 팬 필터 유닛을 내장하고 있는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 승강 장치.