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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0112114 (2007-11-05) |
등록번호 | 10-0878399-0000 (2009-01-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070112114 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-11-05) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
이종접합영역에서 열팽창률 차이에 의한 크랙(crack) 발생을 방지하는 버퍼층을 구비한 저온동시소성 세라믹 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 저온동시소성 세라믹 기판은, 제 1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제 1 세라믹층; 상기 제 1 열팽창계수보다 높은 제 2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제 2 세라믹층; 및 상기 제 1 세라믹층과 제2 세라믹층 사이에 개재되고, 상기 제 1 세라믹층에 접하여 다수의 제 1 라인 홀을 포함하도록 형성된 제 1 영역 및 상기 제 2 세라믹층에 접하여 다수의 제 2 라
제 1 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제 1 세라믹층; 상기 제 1 열팽창계수보다 높은 제 2 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 제 2 세라믹층; 및 상기 제 1 세라믹층과 제2 세라믹층 사이에 개재되고, 상기 제 1 세라믹층에 접하여 다수의 제 1 라인 홀을 포함하도록 형성된 제 1 영역 및 상기 제 2 세라믹층에 접하여 다수의 제 2 라인 홀을 포함하도록 형성된 제 2 영역을 갖는 버퍼층 을 포함하여, 상기 제 1 세라믹층과 제2 세라믹층의 열팽창계수의 차이에 의한 응력을 상기 버퍼층에 의해 방지하는 저온동시소성 세라믹 기판
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