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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0114116 (2007-11-09) |
공개번호 | 10-2009-0047968 (2009-05-13) |
등록번호 | 10-0941065-0000 (2010-02-01) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070114116 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-11-09) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
바이오 랩온어칩이 제공된다. 이 랩온어칩은 기판 상에 구비된 압전 박막, 압전 박막 상에 구비되되, 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부, 및 감지부에 인접하게 구비되어 미세 유체의 이송을 제어하는 유체 제어부를 포함한다. 또한, 바이오 랩온어칩의 제조 방법이 제공된다. 이 방법은 기판 상에 압전 박막을 형성하는 단계, 압전 박막 상에 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부를 형성하는 단계 및 미세 유체의 이송을 제어하기 위해 감지부에 인접하는 유체 제어부를 형성하는 단계를 포함한다.
기판;상기 기판 상에 구비된 압전 박막;상기 압전 박막 상에 구비되되, 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부; 및상기 감지부에 인접하게 구비되어 상기 미세 유체의 이송을 제어하는 유체 제어부를 포함하는 바이오 랩온어칩.
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