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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2007-0115738 (2007-11-13) |
| 공개번호 | 10-2009-0049471 (2009-05-18) |
| 등록번호 | 10-0908017-0000 (2009-07-09) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020070115738 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2007-11-13) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 연마패드의 오염물을 제거하여 전체적인 수명을 연장하고, 연마특성을 향상시키기 위한 연마패드 컨디셔닝 장치를 제공하기 위한 것이다. 상기 연마패드 컨디셔닝 장치는 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부; 를 포함하여 이루어진다.
반도체 웨이퍼용 연마패드를 복원시키기 위한 컨디셔닝장치에 있어서, 상기 컨디셔닝장치에는 탈이온수가 유동하는 노즐과 상기 탈이온수를 가열하는 가열장치가 장착되어 상기 탈이온수를 고온상태로 배출되게 하는 것을 특징을 하는 연마패드 컨디셔닝장치.제 1 항에 있어서,하우징과;상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와;상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과;상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와;상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와;상기 온도센서로부터 데이터를 받아
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