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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0116023 (2007-11-14) |
등록번호 | 10-0895689-0000 (2009-04-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070116023 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-11-14) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
임피던스 매칭 방법 및 이 방법을 위한 매칭 시스템을 제공한다. 이 방법은 전원, 부하, 전송선 및 매칭 시스템을 포함하는 전기 장치의 매칭 방법에 있어서, 전송선의 전기적 특성을 측정하는 단계, 전원의 펄스 모드를 판단하는 단계, 전송선의 전기적 특성으로부터 임피던스 매칭을 위한 제어 파라미터를 추출하는 단계, 및 제어 파라미터를 사용하여 매칭 시스템을 제어하는 단계를 포함하되, 매칭 시스템은 펄스 모드에 따라 다르게 제어된다.
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