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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2007-0132758 (2007-12-17) |
| 공개번호 | 10-2009-0065272 (2009-06-22) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020070132758 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2007-12-17) |
| 심사진행상태 | 원결정유지(심사전치) |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 실리콘 나노선을 구비하는 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 전자빔 조사에 의한 결함 영역을 포함하는 실리콘 나노선을 구비하는 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판 상에 배치된 소스 영역; 상기 실리콘 기판 상에 배치된 드레인 영역; 및 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 배치되고, 전자빔의 조사에 의해 형성된 결함 영역을 포함하는 실리콘 나노선으로 구성된다. 본 발명은 고농도로 도핑된 실리콘 나노선의 일정 영역을 전자빔으로
실리콘 기판;상기 실리콘 기판 상에 배치된 소스 영역;상기 실리콘 기판 상에 배치된 드레인 영역; 및상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 상에 배치되고, 전자빔의 조사에 의해 형성된 결함 영역을 포함하는 실리콘 나노선을 포함하는 바이오 센서.제 1항에 있어서,상기 실리콘 기판 상에서 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역의 사이에 배치되는 절연층을 더 포함하고,상기 실리콘 나노선은 상기 소스 영역, 상기 드레인 영역 및 상기 절연층 상에 배치되는 바이오 센서.제 1항에 있어서,상기 소스 영역 상에 배치되고, 상기 소스 영역 및 상기
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