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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

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과전압 보호 회로를 갖는 ＤＣ-ＤＣ 컨버터 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/00
  • H05H-001/34
  • H02H-007/12
  • B23K-009/00
출원번호 10-2007-7006618 (2007-03-22)
공개번호 10-2007-0048254 (2007-05-08)
등록번호 10-1096613-0000 (2011-12-14)
국제출원번호 PCT/US2005/029770 (2005-08-23)
국제공개번호 WO2006023847 (2006-03-02)
번역문제출일자 2007-03-22
DOI http://doi.org/10.8080/1020077006618
발명자 / 주소
출원인 / 주소
  • 어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드 / 미국 콜로라도 ***** 포트 콜린즈 샤프 포인트 드라이브 ****
대리인 / 주소
  • 백덕열
심사청구여부 있음 (2010-08-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

저장된 인덕터 에너지가 아크가 소멸된 경우 플라즈마를 재점화하기 위한 점화전압을 승압하기 위해 사용되도록, 아크가 소멸되었을때 부스트 스위치로서 작용하도록 션트 스위치를 제어하는 과전압 보호회로 내에 채용된, 아크의 발생시 파워를 플라즈마로부터 떨어져 편향시키도록 션트 스위치가 사용되는 플라즈마를 ㅈ저점화하기 위해 공급하는 장치 및 방법이 제공된다. 아크가 소멸되고, 인덕터 전류는 감소되고, 플라즈마가 점화되었을때, 스위치 SW1은 OFF되고 인덕터 에너지는 플라즈마로 가고 파워 서플라이는 정상 동작 모드에서 동작한다.

대표청구항 ▼

a) 적어도 2개의 전극이 내장된 플라즈마 처리용 챔버;b) 에너지를 저장하는 인덕터를 포함하고, 플라즈마를 점화하고 플라즈마에 파워를 방출하도록 상기 전극에 전압을 공급하기 위한파워 서플라이; c) 아크의 개시시 션트스위치를 ON시켜 전류를 플라즈마로부터 떨어져 바이어스시키고, 아크의 소멸시 부스트 스위치로서 작용하도록 상기 션트 스위치를 주기적으로 스위칭하는 과전압 보호회로를 구비하고, 상기 파워 서플라이의 인덕터에 저장된 인덕터 에너지는, 아크가 소멸된 경우 플라즈마를 재점화하기 위해 플라즈마에 제공된 전압을 승압하도록 사용되

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