초록 ▼

고정밀도로 온도 조절된 액체를 미소 흐름 또는 간헐 흐름으로서 공급하기 위한 소유량 액체의 온도 조절 방법 및 그 시스템을 제공한다. 공급로(3)로부터 공급된 액체를 가압하여 순환로(5)에 도입하고, 그 가압 상태에서 펌프(6)에 의해 순환로(5)를 순환시키면서 순환로(5) 중의 온도 조절기(7)로 온도 조절하고, 그 액체를 순환로(5)로부터 분기시킨 토출로(9)를 통해서 토출로(9)에 설치한 토출밸브(10)의 조정에 의해 적어도 순환로(5) 중의 유량의 1/2보다 소유량의 미소 연속 흐름 또는 미소 간헐 흐름으로서 외부장치에 공급

고정밀도로 온도 조절된 액체를 미소 흐름 또는 간헐 흐름으로서 공급하기 위한 소유량 액체의 온도 조절 방법 및 그 시스템을 제공한다. 공급로(3)로부터 공급된 액체를 가압하여 순환로(5)에 도입하고, 그 가압 상태에서 펌프(6)에 의해 순환로(5)를 순환시키면서 순환로(5) 중의 온도 조절기(7)로 온도 조절하고, 그 액체를 순환로(5)로부터 분기시킨 토출로(9)를 통해서 토출로(9)에 설치한 토출밸브(10)의 조정에 의해 적어도 순환로(5) 중의 유량의 1/2보다 소유량의 미소 연속 흐름 또는 미소 간헐 흐름으로서 외부장치에 공급한다.

대표청구항 ▼

공급로를 통해서 공급된 액체를 가압해서 순환로에 도입하고, 그 가압 상태에서 펌프에 의해 상기 순환로를 순환시키면서, 상기 액체를 상기 순환로 중에 개재시킨 온도 조절기에 있어서 온도 조절하고, 온도 조절된 액체를, 상기 순환로로부터 분기시킨 토출로를 통해서, 상기 토출로에 설치한 토출밸브를 통해서 적어도 상기 순환로에 있어서의 유량의 1/2보다 유량이 적은 미소 연속 흐름 또는 미소 간헐 흐름으로서 외부장치에 공급하는 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 방법.제 1 항에 있어서, 상기 공급로를 통해서 공급되는 액체가 초순

공급로를 통해서 공급된 액체를 가압해서 순환로에 도입하고, 그 가압 상태에서 펌프에 의해 상기 순환로를 순환시키면서, 상기 액체를 상기 순환로 중에 개재시킨 온도 조절기에 있어서 온도 조절하고, 온도 조절된 액체를, 상기 순환로로부터 분기시킨 토출로를 통해서, 상기 토출로에 설치한 토출밸브를 통해서 적어도 상기 순환로에 있어서의 유량의 1/2보다 유량이 적은 미소 연속 흐름 또는 미소 간헐 흐름으로서 외부장치에 공급하는 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 방법.제 1 항에 있어서, 상기 공급로를 통해서 공급되는 액체가 초순수를 포함하는 순수 또는 고굴절율 액체인 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 방법.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 순환로에 있어서의 순환액 유량이 토출로로부터의 토출액 유량의 2∼20배인 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 방법.제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 순환로 중에 설치한 불순물 제거수단에 의해 순환하는 액체 중의 불순물을 제거하는 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 방법.액체의 공급원에 접속되어 있고, 상기 공급원으로부터 공급된 액체를 가압하는 레귤레이터를 포함하는 공급로;상기 공급로에 접속되어 있고, 상기 레귤레이터에서 가압된 액체를 그 가압 상태에 있어서 펌프에 의해 순환시키는 순환로;상기 순환로 중에 개재되어 있고, 상기 순환로를 순환하는 액체의 온도 조절을 행하는 온도 조절기; 및상기 순환로에서 분기되어 있고, 상기 순환로에 있어서 온도 조절된 액체를 적어도 상기 순환로에 있어서의 유량의 1/2보다 유량이 적은 미소 연속 흐름 또는 미소 간헐 흐름으로서 외부장치에 공급하는 토출밸브가 설치된 토출로를 구비한 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항에 있어서, 상기 공급로를 통해서 공급되는 액체가 초순수를 포함하는 순수 또는 고굴절율 액체인 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 순환로에 있어서의 순환액 유량이 토출액 유량의 2∼20배가 되도록 토출로의 유량이 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 순환로 중에, 불순물 제거수단으로서 순환하는 액체 중의 파티클을 제거하는 필터, 액체 중의 기체를 제거하는 진공 탈기장치, 유기물의 산화 기능을 갖는 자외선 산화장치, 및 이온화 물질을 제거하는 이온교환장치 중 어느 하나, 또는 그들 중 임의의 복수를 개재시킨 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 순환로에 있어서의 상기 공급로와의 접속점으로부터 상기 토출로와의 분기점으로 향하는 왕 유로 중에, 상기 온도 조절기를 개재시킨 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 9 항에 있어서, 상기 왕 유로 중에 있어서의 상기 온도 조절기보다 상류측에, 액량 변동, 온도 변동의 외란을 완화하는 탱크를 개재시킨 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 온도 조절기가, 상기 온도 조절기보다 하류측에 설치한 온도 검출기의 출력에 기초하여 제어되는 펠티에 소자에 의해 온도 제어되는 열교환기를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 토출로를 2중관식 열교환기에 의해 형성하고, 그 외부 관에 순환 온도 조절수를 상기 온도 조절기와 동일 온도로 온도 조절하는 2중관식 열교환기용의 온도 조절수 순환장치를 접속한 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.제 5 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 토출로를 2중관식 열교환기에 의해 형성하고, 그 외부 관에 상기 순환로를 흐르는 액체의 전부 또는 일부를 흘려보내기 위한 배관을 접속한 것을 특징으로 하는 소유량 액체의 온도 조절 시스템.