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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2008-0025160 (2008-03-19) |
공개번호 | 10-2008-0085747 (2008-09-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080025160 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 포기(등록료 미납) |
법적상태 | 포기 |
백그라운드 가스의 FTIR 측정을 행하여 싱글 빔 스펙트럼 SB(BG) [C]와 신세틱 싱글 빔 스펙트럼 SSB(BG) [D]를 구하고, 시료 가스의 FTIR 측정을 행하여 싱글 빔 스펙트럼 SB(Samp) [E]와 신세틱 싱글 빔 스펙트럼 SSB(Samp) [F]를 구하고, 다음 식으로 나타내는 시료 가스의 더블 신세틱 흡광도 스펙트럼 DSAbs를 산출하여(스텝 T9), 상기 시료 가스 중의 미량 성분(불순물)의 농도를 구한다.DSAbs = -log[SB(Samp)SSB(BG)/SSB(Samp)SB(BG)]
시료 가스 중의 농도가 미지인 미량 성분의 농도를 FTIR(푸리에 변환 적외 분광 광도계)을 이용하여 정량적으로 구하는 방법이며,시료 가스와, 그 시료 가스의 측정 파수 영역을 특정하는 공정과,상기 측정 파수 영역에 흡수를 갖지 않는 백그라운드 가스를 특정하는 공정과,상기 백그라운드 가스의 FTIR 측정을 행하여 싱글 빔 스펙트럼 SB(BG)와 신세틱 싱글 빔 스펙트럼 SSB(BG)를 구하는 공정과,상기 시료 가스의 FTIR 측정을 행하여 싱글 빔 스펙트럼 SB(Samp)와 신세틱 싱글 빔 스펙트럼 SSB(Samp)를 구하는 공정과
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