초록 ▼

본 발명은 자기유도형 비파괴 센서를 위한 CoNiFe 삼원계 합금박막의 조성물에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 CoNiFe 삼원계 박막을 전기도금방법으로 제조하여 1.9T의 포화자속밀도와 0.5Oe의 보자력을 갖는 자기유도형 비파괴 박막 센서로 가능하고, 자성코어의 길이를 최소로 하면서도 높은 포화자속밀도와 작은 보자력을 갖는 자기유도형 비파괴 박막 센서로 가능하며, 단일 검출 코일 및 박막형 마이크로 자기유도 센서 모델링을 통하여 계산된 결과를 검증하기 위하여 신호의 검출이 용이한 자기코어가 있는 검출코일을 이용하여 금속결

본 발명은 자기유도형 비파괴 센서를 위한 CoNiFe 삼원계 합금박막의 조성물에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 CoNiFe 삼원계 박막을 전기도금방법으로 제조하여 1.9T의 포화자속밀도와 0.5Oe의 보자력을 갖는 자기유도형 비파괴 박막 센서로 가능하고, 자성코어의 길이를 최소로 하면서도 높은 포화자속밀도와 작은 보자력을 갖는 자기유도형 비파괴 박막 센서로 가능하며, 단일 검출 코일 및 박막형 마이크로 자기유도 센서 모델링을 통하여 계산된 결과를 검증하기 위하여 신호의 검출이 용이한 자기코어가 있는 검출코일을 이용하여 금속결함을 검출할 수 있고, 기지금속인 Fe에 구조를 제어하기 위한 첨가원소를 소량 넣어 포화자속밀도를 가능한 한 높게 유지시킨 상태에서 결정자기이방성이 최소가 되도록 하면서도 투자율이 높고 보자력이 작은 자기유도형 비파괴 박막 센서로 가능하며, 고 자속밀도의 구현을 통해 여기코일에서 0.2mm 떨어진 극 미세 크랙의 검출이 가능하므로 분해능이 높아 피검체의 불량을 영상화시킬 수 있는 효과가 있다.

대표청구항

자기유도형 비파괴 센서를 위한 CoNiFe 삼원계 합금박막의 조성물에 있어서,코발트(Co), 니켈(Ni), 철(Fe)을 포함하고, 상기 코발트, 니켈, 철의 조성 비율은 62:10:28 중량%, 65:11:24 중량%, 67:11:22 중량% 중에서 어느 하나인 것을 포함함을 특징으로 하는 자기유도형 비파괴 센서를 위한 CoNiFe 삼원계 합금박막의 조성물.

자기유도형 비파괴 센서를 위한 CoNiFe 삼원계 합금박막의 조성물에 있어서,코발트(Co), 니켈(Ni), 철(Fe)을 포함하고, 상기 코발트, 니켈, 철의 조성 비율은 62:10:28 중량%, 65:11:24 중량%, 67:11:22 중량% 중에서 어느 하나인 것을 포함함을 특징으로 하는 자기유도형 비파괴 센서를 위한 CoNiFe 삼원계 합금박막의 조성물.