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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0067701 (2008-07-11) |
공개번호 | 10-2010-0007188 (2010-01-22) |
등록번호 | 10-0978805-0000 (2010-08-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080067701 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-07-11) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 극저온 냉동 트랩을 이용한 고순도 일산화질소 제조방법 및 그의 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 저순도의 일산화질소(NO)로부터 고순도의 일산화질소를 정제하는 방법으로써, 저순도의 NO를 공급하는 장치와 일산화질소 원료 중의 불순물을 저온에서 흡착하는 단계와 다수의 첨탐을 가지는 챔버를 극저온(-164℃)으로 유지하며 일산화질소와 불순물의 상변이를 발생시키는 극저온 냉동 트랩(TRAP)부에서 다시 불순물을 제거하는 단계와 정제되어진 일산화질소를 저장하는 저장탱크와 저장탱크에서 제품으로 충전을 하는 것을 특징으로
저순도 일산화질소를 공급하는 공급탱크(10)와;상기 공급탱크(10)로부터 저순도 일산화질소를 공급받아 저온 흡착을 이용하여 상기 저순도 일산화질소 내에 포함되어 있는 불순물을 1차적으로 제거하되, 다수개가 상호간 연결되어 순차적으로 불순물 제거를 수행하는 저온 흡착 챔버부(20)와;상기 저온 흡착 챔버부(20)로부터 저순도 일산화질소를 공급받아, 상기 일산화질소와 불순물의 상변이를 발생시켜 2차적으로 불순물을 제거하는 극저온 냉동 트랩부(30)와;상기 극저온 냉동 트랩부(30)의 내부를 진공상태로 만들기 위한 진공펌프(40)와;상기
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