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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0084892 (2008-08-29) |
공개번호 | 10-2010-0026063 (2010-03-10) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080084892 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 용존산소 감소장치 및 용존산소 감소방법에 관한 것으로서, 특히 초순수 내의 용존산소를 간단한 구조로 고효율로 제거할 수 있도록 한 용존산소 감소장치 및 용존산소 감소방법을 개시한다. 본 발명의 구성은 초순수가 유입되기 위한 초순수 투입로; 상기 초순수 투입로에 연통되어 불활성 가스가 공급되는 불활성 가스 투입로; 상기 초순수 투입로의 말단에 연통되어 상기 초순수와 불활성 가스를 혼합하기 위한 혼합기; 및 상기 혼합기와 연통되어 초순수 내에 포함된 불활성 가스 및 용존산소를 분리하는 기포 제거조로 이루어진다. 이와 같은 구
반도체 소자의 제조시 세정공정에 사용되는 초순수의 용존산소 농도를 감소시키기 위한 용존산소 감소장치로서,상기 초순수가 유입되기 위한 초순수 투입로;상기 초순수 투입로에 연통되어 불활성 가스가 공급되는 불활성 가스 투입로;상기 초순수 투입로의 말단에 연통되어 상기 초순수와 상기 불활성 가스를 혼합하기 위한 혼합기; 및 상기 혼합기와 연통되어 초순수 내에 포함된 불활성 가스를 분리하는 기포 제거조를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 용존산소 감소장치.
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