초록 ▼

본 발명은 규소 웨이퍼를 가공하는 공정에서 발생하는 백그라인딩(backgrinding) 규소 폐기물로부터 규소를 분리ㆍ회수하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 백그라인딩 규소 폐기물 속의 주된 고형분인 규소(Si)와 다이아몬드 탄소(C) 혼합물로부터 고밀도의 중액을 사용한 비중차 분리법으로 99.5% 이상 순도의 규소를 분리해내는 방법에 관한 것이며, 특히, 사용 후 재활용되지 못하고 버려지고 있는 백그라인딩 규소 폐기물로부터 고순도의 규소를 회수해 내어, 태양 전지용 규소 원료 등으로 재활용할 수 있는 고 순도의 규소 분

본 발명은 규소 웨이퍼를 가공하는 공정에서 발생하는 백그라인딩(backgrinding) 규소 폐기물로부터 규소를 분리ㆍ회수하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 백그라인딩 규소 폐기물 속의 주된 고형분인 규소(Si)와 다이아몬드 탄소(C) 혼합물로부터 고밀도의 중액을 사용한 비중차 분리법으로 99.5% 이상 순도의 규소를 분리해내는 방법에 관한 것이며, 특히, 사용 후 재활용되지 못하고 버려지고 있는 백그라인딩 규소 폐기물로부터 고순도의 규소를 회수해 내어, 태양 전지용 규소 원료 등으로 재활용할 수 있는 고 순도의 규소 분리 방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

규소를 재활용하기 위해 백그라인딩 규소 폐기물을 이용한 고순도 규소 분리방법에 있어서, 백그라인딩 규소 폐기물 원액을 원심분리하여 침전시켜 고형분을 얻어내는 원심분리단계(S1)와;상기 원심분리단계(S1)를 거친 고형분의 수분을 제거하기 위해서 건조하는 1차 건조단계(S2)와; 상기 1차 건조단계(S2)를 거친 고형분에 할로겐화유기물인 다이브로민화메테인(CH2Br2), 브로모폼(CHBr3), 테트라브로모에테인(Br2CHCHBr2), 사브로민화탄소(CBr4) 중 어느 한 가지 이상을 포함하는 중액을 첨가하고, 초음파분쇄기를 통해 초음파

규소를 재활용하기 위해 백그라인딩 규소 폐기물을 이용한 고순도 규소 분리방법에 있어서, 백그라인딩 규소 폐기물 원액을 원심분리하여 침전시켜 고형분을 얻어내는 원심분리단계(S1)와;상기 원심분리단계(S1)를 거친 고형분의 수분을 제거하기 위해서 건조하는 1차 건조단계(S2)와; 상기 1차 건조단계(S2)를 거친 고형분에 할로겐화유기물인 다이브로민화메테인(CH2Br2), 브로모폼(CHBr3), 테트라브로모에테인(Br2CHCHBr2), 사브로민화탄소(CBr4) 중 어느 한 가지 이상을 포함하는 중액을 첨가하고, 초음파분쇄기를 통해 초음파분쇄를 하고, 원심분리기를 통해 고형분의 규소와 다이아몬드 탄소 및 중액을 분리하여 규소를 획득하는 중액 분리단계(S3)와;상기 중액 분리단계(S3)를 거친 고형분을 건조하여 중액을 제거하는 2차 건조단계(S4)로 구성되는 것을 특징으로 하는 백그라인딩 규소 폐기물을 이용한 고순도 규소 분리방법.