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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0098558 (2008-10-08) |
공개번호 | 10-2010-0039547 (2010-04-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080098558 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-10-08) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 기판의 초음파를 이용한 압축 정화 공기방식의 건식 세정방법에 관한 것으로, 기판에 존재하는 고착형 이물의 양방향에 세정력이 제공되도록 분사노즐로 정화된 공기를 분사하여 상기 고착형 이물을 제거하되, 상기 정화된 공기의 분사각도 또는 이송반발력을 조절하여 상기 양방향의 세정력을 조절한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 기판의 이송방향을 정방향 및 역방향의 양방향으로 이동시켜 세정력이 이물의 양측에 가해지도록 하고, 정화공기의 분사방향을 제어하여 세정력을 보다 향상시켜, 기판으로부터 용이하게 고착형 이물을 제거할 수 있는 효과
기판에 존재하는 고착형 이물의 양방향에 세정력이 제공되도록 분사노즐로 정화된 공기를 분사하여 상기 고착형 이물을 제거하되, 상기 정화된 공기의 분사각도 또는 이송반발력을 조절하여 상기 양방향의 세정력을 조절하는 것을 특징으로 하는 기판의 건식 세정방법.
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