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연합인증

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[한국특허] 전해 정련된 금속석출판 표면 검사장치
Apparatus for inspecting a surface of metal educing plate refined with electrolysis
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • G01N-021/86
  • G01N-021/88
  • G01N-021/89
  • G01N-021/00
출원번호 10-2008-0116133 (2008-11-21)
공개번호 10-2010-0057212 (2010-05-31)
등록번호 10-1013612-0000 (2011-01-31)
DOI http://doi.org/10.8080/1020080116133
발명자 / 주소
  • 배명록 / 울산광역시 울주군 온산읍 대정리 **번지 LS-Nikko동제련 생산기술팀
출원인 / 주소
  • 엘에스니꼬동제련 주식회사 / 울산 울주군 온산읍 대정리 **번지
대리인 / 주소
  • 제일광장특허법인; 김원준
심사청구여부 있음 (2008-11-21)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명의 전해 정련된 금속석출판의 표면 검사장치는 검사하고자 하는 금속 석출판(10)의 표면을 촬영하여 검사하는 검사부(200)와, 상기 검사하고자 하는 금속 석출판(10)을 상기 검사부(200)에 로딩하는 로딩로봇(300)과, 상기 검사부(200)에서 검사가 완료된 금속 석출판(10)을 언로딩하는 언로딩로봇(400)과, 상기 언로딩로봇(400)에 의해 언로딩된 금속 석출판(10)을 이송시키는 컨베이어부(100) 및 상기 검사부(200)와, 상기 로딩로봇(300) 및 언로딩로봇(400)과, 상기 컨베이어부(100)의 작동을 제어하

대표청구항

검사하고자 하는 금속 석출판을 촬영하여 검사하는 검사부;상기 검사하고자 하는 금속 석출판을 상기 검사부에 로딩하는 로딩로봇;상기 검사부에서 검사가 완료된 금속 석출판을 언로딩하는 언로딩로봇;상기 언로딩로봇에 의해 언로딩된 금속 석출판을 이송시키는 컨베이어부; 및상기 검사부와, 상기 로딩 로봇 및 언로딩로봇과, 상기 컨베이어부의 작동을 제어하고, 상기 검사부에서 촬영된 상기 금속 석출판의 이미지를 이용하여 상기 금속 석출판에 혹이 있는지의 여부에 따라 등급을 판정하는 제어부;를 포함하되,상기 검사부는 상기 금속 석출판을 수납하는 수납

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] EXTERIOR INSPECTION MACHINE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE | KOBAYASHI KUNIO, ITO TSUMIO
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