초록

본 발명은 XY스테이지의 위치보정 방법에 관한 것으로, 작업자가 입력한 명령위치로 복수의 모터에 의해 XY축 방향으로 이동가능한 XY스테이지의 위치를 보정하는 방법에 있어서, X축 방향 및 Y축 방향으로 제1 보정을 각각 수행하는 단계와, 상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 보정을 수행하는 단계와, 상기 대각선 방향의 보정을 이용하여 X축 방향 및 Y축 방향의 제2 보정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

작업자가 입력한 명령위치로 복수의 모터에 의해 XY축 방향으로 이동가능한 XY스테이지의 위치를 보정하는 방법에 있어서,X축 방향 및 Y축 방향으로 제1 보정을 각각 수행하는 단계;상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 보정을 수행하는 단계; 및상기 대각선 방향의 보정을 이용하여 X축 방향 및 Y축 방향의 제2 보정을 수행하는 단계;를 포함하며, 상기 제2 보정을 수행하는 단계는, 상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 선택된 복수 지점에 대한 각 좌표의 상대길이에 근거하여,

작업자가 입력한 명령위치로 복수의 모터에 의해 XY축 방향으로 이동가능한 XY스테이지의 위치를 보정하는 방법에 있어서,X축 방향 및 Y축 방향으로 제1 보정을 각각 수행하는 단계;상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 보정을 수행하는 단계; 및상기 대각선 방향의 보정을 이용하여 X축 방향 및 Y축 방향의 제2 보정을 수행하는 단계;를 포함하며, 상기 제2 보정을 수행하는 단계는, 상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 선택된 복수 지점에 대한 각 좌표의 상대길이에 근거하여, 그 상대길이에 대응되는 X좌표값와 Y좌표값을 각각 계산하여 수행하는 것을 특징으로 하는 XY 스테이지 위치보정 방법.