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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0125956 (2008-12-11) |
공개번호 | 10-2010-0067403 (2010-06-21) |
등록번호 | 10-1095588-0000 (2011-12-12) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080125956 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-12-11) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 XY스테이지의 위치보정 방법에 관한 것으로, 작업자가 입력한 명령위치로 복수의 모터에 의해 XY축 방향으로 이동가능한 XY스테이지의 위치를 보정하는 방법에 있어서, X축 방향 및 Y축 방향으로 제1 보정을 각각 수행하는 단계와, 상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 보정을 수행하는 단계와, 상기 대각선 방향의 보정을 이용하여 X축 방향 및 Y축 방향의 제2 보정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
작업자가 입력한 명령위치로 복수의 모터에 의해 XY축 방향으로 이동가능한 XY스테이지의 위치를 보정하는 방법에 있어서,X축 방향 및 Y축 방향으로 제1 보정을 각각 수행하는 단계;상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 보정을 수행하는 단계; 및상기 대각선 방향의 보정을 이용하여 X축 방향 및 Y축 방향의 제2 보정을 수행하는 단계;를 포함하며, 상기 제2 보정을 수행하는 단계는, 상기 제1 보정에 의해 보정된 XY축을 기준으로 그 대각선 방향으로 선택된 복수 지점에 대한 각 좌표의 상대길이에 근거하여,
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