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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0137130 (2008-12-30) |
| 공개번호 | 10-2010-0078775 (2010-07-08) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080137130 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
본 발명은 백그라인딩 공정후에 웨이퍼가 휘는 현상을 방지할 수 있는 웨이퍼 휨 방지 방법을 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 웨이퍼휨 방지 방법은 웨이퍼의 스크라인브레인에 복수의 홀을 형성하는 단계; 상기 웨이퍼의 휘어지는 방향과 반대되는 방향으로 휘어진 척에 상기 웨이퍼를 안착시키는 단계; 상기 홀을 갭필할때까지 상기 웨이퍼의 전면에 보호막을 형성하는 단계; 및 상기웨이퍼의 후면을 백그라인딩하는 단계를 포함하고, 상술한 본 발명은 홀을 형성하고 홀에 갭필되는 보호막 또는 웨이퍼휨방지용 척을 이용하여 웨이퍼 휨 현상을 방지함으로써
웨이퍼의 스크라인브레인에 복수의 홀을 형성하는 단계;상기 웨이퍼의 휘어지는 방향과 반대되는 방향으로 휘어진 척에 상기 웨이퍼를 안착시키는 단계;상기 홀을 갭필할때까지 상기 웨이퍼의 전면에 보호막을 형성하는 단계; 및상기웨이퍼의 후면을 백그라인딩하는 단계를 포함하는 웨이퍼 휨 방지 방법.
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