현상잔사 등의 오염의 세정제거성이 우수하고, 환경문제가 없고, 공샤워 운전으로도 열화되지 않는 세정처리액, 상기 세정처리액을 사용한 착색 화상의 형성방법, 컬러 필터의 제조방법, 및 컬러 필터 부착 어레이 기판의 제조방법의 제공을 목적으로 한다. 염기성화합물과 1개 이상의 수산기를 함유하는 아세틸렌 계면활성제, 알킬에테르계 계면활성제, 및 페녹시옥시알킬렌 계면활성제로부터 선택되는 적어도 어떤 계면활성제를 1종 이상 함유하고, 또한 나프탈렌계 계면활성제 함유하는 것을 특징으로 하는 세정처리액이다.
대표청구항▼
염기성 화합물과 하나 이상의 수산기를 함유하는 아세틸렌 계면활성제, 알킬에테르계 계면활성제, 및 페녹시옥시알킬렌 계면활성제로부터 선택되는 1종 이상의 계면활성제와 나프탈렌계 계면활성제를 함유하는 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항에 있어서,상기 염기성 화합물은 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 탄산수소나트륨, 인산나트륨, 인산칼륨, 피롤린산나트륨, 피롤린산칼륨, 탄산칼륨, 메타규산나트륨 및 메타규산칼륨으로부터 선택되는 1종 이상의 무기 알칼리 화합물인 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기
염기성 화합물과 하나 이상의 수산기를 함유하는 아세틸렌 계면활성제, 알킬에테르계 계면활성제, 및 페녹시옥시알킬렌 계면활성제로부터 선택되는 1종 이상의 계면활성제와 나프탈렌계 계면활성제를 함유하는 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항에 있어서,상기 염기성 화합물은 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 탄산수소나트륨, 인산나트륨, 인산칼륨, 피롤린산나트륨, 피롤린산칼륨, 탄산칼륨, 메타규산나트륨 및 메타규산칼륨으로부터 선택되는 1종 이상의 무기 알칼리 화합물인 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 염기성 화합물의 세정처리액에 있어서의 함유량이 0.01~50 질량%인 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 아세틸렌 계면활성제가 아세틸렌디올 계면활성제인 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 페녹시옥시알킬렌 계면활성제가 하기 구조식(1)로 표시되는 것을 특징으로 하는 세정처리액.단, 상기 구조식(1) 중, Ph는 페닐기를 나타낸다. R1은 수소원자 또는 알킬기를 나타낸다. n은 1 이상의 정수를 나타낸다.제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나프탈렌계 계면활성제가 하기 구조식(2)로 표시되는 것을 특징으로 하는 세정처리액.단, 상기 구조식(2) 중, R1은 알킬기를 나타내고, R2는 수소원자 또는 알킬기를 나타낸다. M은 Na, K 또는 H를 나타낸다.제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,가압 조건하에서 피처리 대상물에 부여되는 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 7 항에 있어서,가압의 압력이 0.01~100MPa인 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,가압이 브러시, 스폰지 및 액압 중 1개 이상의 어떤 가압수단에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 피처리 대상물은 기판 상에 적어도 감광층 및 산소 차단층을 순차 적층하여 형성되는 전사재료인 것을 특징으로 하는 세정처리액.제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,희석액으로 5~1,000배로 희석하여 사용되는 것을 특징으로 하는 세정처리액.알칼리 현상가능한 감광층을 기판 상에 형성하는 감광층 형성공정, 상기 감광층을 노광하여 현상하는 노광 및 현상공정과, 상기 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 세정처리액을 사용하여 세정처리하는 세정처리공정을 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 착색화상의 형성방법.제 12 항에 있어서,상기 감광층은 산가가 20~300인 수지, 안료, 광중합성 불포화결합을 함유하는 모노머 및 광중합 개시제를 적어도 함유하는 전사재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 착색 화상의 형성방법.기판 상에 알칼리 현상가능한 감광층을 형성하는 감광층 형성공정, 및 상기 감광층을 노광하여 현상하는 노광 및 현상공정을 적어도 포함하고, 동일 기판 상에 복수의 착색화상을 형성하는 컬러 필터의 제조방법으로서: 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 세정처리액을 사용하여 세정하는 세정처리공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조방법.알칼리 현상가능한 감광층을 TFT 어레이 기판 상에 형성하는 감광층 형성공정, 및 상기 감광층을 노광하여 현상하는 노광 및 현상공정을 적어도 포함하고, 동일 TFT 어레이 기판 상에 복수의 착색화상을 형성하는 컬러 필터 부착 어레이 기판의 제조방법으로서: 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 세정처리액을 사용하여 세정하는 세정처리공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필러 부착 어레이 기판의 제조방법.
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