초록 ▼

본 발명은 로진 (메타)아크릴레이트 (a), 에폭시기를 가지는 라디칼 중합성 화합물 (b), 및 이들과 공중합할 수 있는 (a), (b) 이외의 라디칼 중합성 화합물 (c)을 공중합시켜 얻어진 공중합체 중의 에폭시기에 불포화 일염기산 (d)을 반응시킨 후, 수산기에 다염기산 무수물 (e)를 반응시켜 이루어진 감광성 수지, 또는 로진 (메타)아크릴레이트 (a), 불포화 일염기산 (d), 및 (a), (d) 이외의 라디칼 중합성 화합물 (c)을 공중합시켜 얻어진 공중합체 중의 카르복실기에 에폭시기를 가지는 라디칼 중합성 화합물 (b)을

본 발명은 로진 (메타)아크릴레이트 (a), 에폭시기를 가지는 라디칼 중합성 화합물 (b), 및 이들과 공중합할 수 있는 (a), (b) 이외의 라디칼 중합성 화합물 (c)을 공중합시켜 얻어진 공중합체 중의 에폭시기에 불포화 일염기산 (d)을 반응시킨 후, 수산기에 다염기산 무수물 (e)를 반응시켜 이루어진 감광성 수지, 또는 로진 (메타)아크릴레이트 (a), 불포화 일염기산 (d), 및 (a), (d) 이외의 라디칼 중합성 화합물 (c)을 공중합시켜 얻어진 공중합체 중의 카르복실기에 에폭시기를 가지는 라디칼 중합성 화합물 (b)을 반응시켜 이루어진 감광성 수지, 및 상기 감광성 수지를 포함하는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 감광성 수지는 로진에 유래하는 골격을 측쇄에 갖고, 또한 알칼리 가용성을 가지며, 상기 감광성 수지 조성물로부터 형성되는 도막은 각종 재료와의 밀착성이나 내열성이 뛰어나기 때문에, 레지스트 분야에서의 이용 가치가 높다.

대표청구항

로진 (메타)아크릴레이트 (a) 5~30몰%, 에폭시기를 가지는 라디칼 중합성 화합물 (b) 30~85몰%, 및 이들과 공중합할 수 있는 (a) 및 (b) 이외의 라디칼 중합성 화합물 (c) 10~65몰%를 그 합계가 100몰%가 되는 양으로 공중합시켜 얻어진 공중합체 중의 에폭시기의 10~100%에 불포화 일염기산 (d)을 반응시킨 후, 수산기의 5~100%에 다염기산 무수물 (e)를 반응시켜 이루어진 감광성 수지.

로진 (메타)아크릴레이트 (a) 5~30몰%, 에폭시기를 가지는 라디칼 중합성 화합물 (b) 30~85몰%, 및 이들과 공중합할 수 있는 (a) 및 (b) 이외의 라디칼 중합성 화합물 (c) 10~65몰%를 그 합계가 100몰%가 되는 양으로 공중합시켜 얻어진 공중합체 중의 에폭시기의 10~100%에 불포화 일염기산 (d)을 반응시킨 후, 수산기의 5~100%에 다염기산 무수물 (e)를 반응시켜 이루어진 감광성 수지.