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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0002281 (2009-01-12) |
공개번호 | 10-2010-0082960 (2010-07-21) |
등록번호 | 10-1022028-0000 (2011-03-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090002281 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-01-12) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 비전도성 연마패드 사용이 가능한 전기화학적 기계적 웨이퍼 연마장치에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 웨이퍼를 전기화학적 기계적으로 연마하는 장치에 있어서, 구동력에 의해 회전하는 정반; 상기 정반 상에 부착되고 음극이 인가되는 전극; 상기 전극 상에 탈부착 가능하게 결합되고 비전도성 재질의 비전도성 연마패드; 상기 비전도성 연마패드 상측에 배치되고 하부에 웨이퍼를 고정하는 고정구가 구비되어 웨이퍼를 상기 비전도성 연마패드에 가압하면서 회전시키는 연마헤드;웨이퍼의 하부 표면에 접촉하여 웨이퍼에 양극을 인가하는 접속구와, 상
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