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[한국특허] 용융 실리카 제조방법
MANUFACTURING METHOD FOR FUSED SILICA 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C01B-033/18
  • C01B-033/12
출원번호 10-2009-0005906 (2009-01-23)
공개번호 10-2010-0086602 (2010-08-02)
등록번호 10-1055659-0000 (2011-08-03)
DOI http://doi.org/10.8080/1020090005906
발명자 / 주소
  • 유지철 / 충청남도 천안시 직산읍 삼은리 ** 한도아파트 ***동 ***호
  • 이소영 / 서울특별시 광진구 중곡*동 ***-** 청기와 타운 ***호
출원인 / 주소
  • 주식회사 실리스 / 충청남도 천안시 서북구 입장면 홍천리 **-* 한국생산기술연구원
대리인 / 주소
  • 한기형; 김용주
심사청구여부 있음 (2009-01-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

본 발명은 용융 실리카 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 봉지재(EMC)용 충전제, 폴리실리콘 제조용 벨저, 실리콘 단결정, 다결정 제조에 있어서 도가니, 귀금속 가공용 도가니, 로심관, 웨이퍼 열처리부재, 세정부재, 광학부재, 드라이에칭 장치의 마이크로파 투과부재, 정보통신용 광섬유, 열기구 재료, 내화재료, 이화학 기구재료, 조명용 튜브, 적외선 Heater의 열선 보호관 등 기타 반도체 프로세스 및 파인세라믹 상에서 사용되는 용융 실리카 제조 방법에 관한 것이다.본 발명의 용융 실리카 제조방법은 천연 조립 실리카

대표청구항 ▼

천연 조립 실리카를 800~1000℃로 프리히팅(preheating)하는 단계와;상기 프리히팅된 상기 실리카를 2단 호퍼에 주입하는 단계와;상기 2단 호퍼에 의해 진공이 유지되는 단계와;상기 2단 호퍼에 주입된 상기 실리카가 정량공급기에 공급되는 단계와;상기 정량공급기에 의해 정량의 상기 실리카가 도가니에 수용되는 단계와;상기 도가니에 수용된 상기 실리카를 3단 히터로 가열하는 단계와;상기 3단 히터에 의해 용융된 용융 실리카를 유입부가 유입하는 단계와;상기 유입부에 의해 유입된 용융 실리카를 토출부 및 토출부재에 의해 도가니 외부

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 유리 용융실리카의 튜브 또는 로드의 연속 생산 방법 | 헬무트레버, 나이절아르휘피
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