본 발명은 용융 실리카 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 봉지재(EMC)용 충전제, 폴리실리콘 제조용 벨저, 실리콘 단결정, 다결정 제조에 있어서 도가니, 귀금속 가공용 도가니, 로심관, 웨이퍼 열처리부재, 세정부재, 광학부재, 드라이에칭 장치의 마이크로파 투과부재, 정보통신용 광섬유, 열기구 재료, 내화재료, 이화학 기구재료, 조명용 튜브, 적외선 Heater의 열선 보호관 등 기타 반도체 프로세스 및 파인세라믹 상에서 사용되는 용융 실리카 제조 방법에 관한 것이다.본 발명의 용융 실리카 제조방법은 천연 조립 실리카
본 발명은 용융 실리카 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 봉지재(EMC)용 충전제, 폴리실리콘 제조용 벨저, 실리콘 단결정, 다결정 제조에 있어서 도가니, 귀금속 가공용 도가니, 로심관, 웨이퍼 열처리부재, 세정부재, 광학부재, 드라이에칭 장치의 마이크로파 투과부재, 정보통신용 광섬유, 열기구 재료, 내화재료, 이화학 기구재료, 조명용 튜브, 적외선 Heater의 열선 보호관 등 기타 반도체 프로세스 및 파인세라믹 상에서 사용되는 용융 실리카 제조 방법에 관한 것이다.본 발명의 용융 실리카 제조방법은 천연 조립 실리카를 800~1000℃로 프리히팅(preheating)하는 단계와; 상기 프리히팅된 상기 실리카를 2단 호퍼에 주입하는 단계와; 상기 2단 호퍼에 의해 진공이 유지되는 단계와; 상기 2단 호퍼에 주입된 상기 실리카가 정량공급기에 공급되는 단계와; 상기 정량공급기에 의해 정량의 상기 실리카가 도가니에 수용되는 단계와; 상기 도가니에 수용된 상기 실리카를 3단 히터로 가열하는 단계와; 상기 3단 히터에 의해 용융된 용융 실리카를 유입부가 유입하는 단계와; 상기 유입부에 의해 유입된 용융 실리카를 토출부 및 토출부재에 의해 도가니 외부로 토출하는 단계 및; 상기 토출부 및 토출부재에 의해 토출된 용융 실리카를 분쇄기에 의해 분쇄하는 단계로 구성되며; 상기 3단 히터는상단 히터와, 중단 히터 및, 하단 히터로 구성되며, 상기 상단 히터는 1500℃ 이하로 가열되게 제어되며, 상기 중단 히터는 1500~2000℃로 가열되게 제어되며, 상기 하단 히터는 2000~2500℃로 가열되게 제어되는 것을 특징으로 한다.본 발명의 용융 실리카 제조방법에 의해 생산된 용융 실리카 로드 또는 튜브는 공기 거품이 없으며, 고순도이고 균일한 두께 및 형태를 가지며, 종래의 용융 실리카 제조방법에 비해, 자동으로 연속적으로 생산되어 기존의 방법보다 생산량을 향상시킬 수 있고, 수작업에 의한 오염이 발생하지 않아 제품 수율과 순도를 향상시킬 수 있다.
대표청구항▼
천연 조립 실리카를 800~1000℃로 프리히팅(preheating)하는 단계와;상기 프리히팅된 상기 실리카를 2단 호퍼에 주입하는 단계와;상기 2단 호퍼에 의해 진공이 유지되는 단계와;상기 2단 호퍼에 주입된 상기 실리카가 정량공급기에 공급되는 단계와;상기 정량공급기에 의해 정량의 상기 실리카가 도가니에 수용되는 단계와;상기 도가니에 수용된 상기 실리카를 3단 히터로 가열하는 단계와;상기 3단 히터에 의해 용융된 용융 실리카를 유입부가 유입하는 단계와;상기 유입부에 의해 유입된 용융 실리카를 토출부 및 토출부재에 의해 도가니 외부
천연 조립 실리카를 800~1000℃로 프리히팅(preheating)하는 단계와;상기 프리히팅된 상기 실리카를 2단 호퍼에 주입하는 단계와;상기 2단 호퍼에 의해 진공이 유지되는 단계와;상기 2단 호퍼에 주입된 상기 실리카가 정량공급기에 공급되는 단계와;상기 정량공급기에 의해 정량의 상기 실리카가 도가니에 수용되는 단계와;상기 도가니에 수용된 상기 실리카를 3단 히터로 가열하는 단계와;상기 3단 히터에 의해 용융된 용융 실리카를 유입부가 유입하는 단계와;상기 유입부에 의해 유입된 용융 실리카를 토출부 및 토출부재에 의해 도가니 외부로 토출하는 단계 및;상기 토출부 및 토출부재에 의해 토출된 용융 실리카를 분쇄기에 의해 분쇄하는 단계로 구성되며;상기 3단 히터는상단 히터와, 중단 히터 및, 하단 히터로 구성되며, 상기 상단 히터는 1500℃ 이하로 가열되게 제어되며, 상기 중단 히터는 1500~2000℃로 가열되게 제어되며, 상기 하단 히터는 2000~2500℃로 가열되게 제어되는 것을 특징으로 하는 용융 실리카 제조방법.
발명자의 다른 특허 :
연구과제 타임라인
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이 특허에 인용된 특허 (1)
[한국]
유리 용융실리카의 튜브 또는 로드의 연속 생산 방법 |
헬무트레버,
나이절아르휘피
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