최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2009-0009810 (2009-02-06) |
공개번호 | 10-2010-0090496 (2010-08-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090009810 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2009-02-06) |
심사진행상태 | 포기(등록료 미납) |
법적상태 | 포기 |
본 발명은 반도체 생산라인에 사용되는 금속관의 내부 표면만 선택적으로 전해연마(electro polishing)시킬 수 있도록 하여 전해연마의 불균일성을 감소시키고, 연마표면의 평활화, 광택화 및 크롬산화 부동태막을 형성할 수 있도록 하며, 전해연마의 생산성 및 작업 안전성을 향상시킬 수 있도록 한 금속관의 전해연마액 조성물 및 전해연마방법에 관한 것이다.전술한 본 발명의 특징은, 85%의 인산 55∼65중량%와 95%의 황산 25∼31중량%를 혼합한 혼합물에 EP2액 6∼8중량%와 EP13액과 광천수를 3:7로 혼합한 혼합액 4∼
85%의 인산 55∼65중량%와 95%의 황산 25∼31중량%를 혼합한 혼합물에 EP2액 6∼8중량%와 EP13액과 광천수를 3:7로 혼합한 혼합액 4∼6중량%를 배합하여 12시간 화학반응을 시켜 구성됨을 특징으로 하는 금속관의 전해연마액 조성물.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.