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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0012979 (2009-02-17) |
등록번호 | 10-0902859-0000 (2009-06-08) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090012979 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-02-17) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 다결정 실리콘 원료의 용융시간 및 냉각 시간이 단축되고, 실리콘 용융액의 응고시 냉각에 따른 온도 경사가 수평 방향으로는 발생함이 없이 수직 상하 방향으로만 안정되고 일정하게 부여되게 함으로써 결정 성장의 방향이 균일하고 결정 내 불순물 농도도 균질하게 되도록 할 수 있는 실리콘 제조용 캐스팅 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상기 단열재부의 측면단열재 일부분이 받침대에 지지된 상태로 실리콘 용융시에는 단열 해제를 위해 용기에서 이격되며, 실리콘 결정 생성을 위한 냉각시에는 보온단열을 위해 용기에 밀착되면서 하부단열재
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