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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0014186 (2009-02-20) |
공개번호 | 10-2010-0095078 (2010-08-30) |
등록번호 | 10-1209857-0000 (2012-12-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090014186 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-02-20) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 유리 표면 이물 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 마이크로 회로가 증착되는 유리 표면 상에 발생될 수 있는 이물질을 정확하게 검사할 수 있는 유리 표면 이물 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.본 발명에 따른 유리 표면 이물 검사 장치는 유리 기판의 이물을 검출하기 위한 레이저광 조사부를 상기 유리 기판의 상부 측면과 하부 측면에 각각 하나씩 소정의 간격을 두고 구비하되, 상기 레이저광 조사부로부터 출사되는 광이 상기 유리 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 조사되도록 구성하여 유리 표면에 부착된
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