초록 ▼

본 발명은 피처리물을 이송시키는 캐리어를 무선으로 구동시키고 무선통신으로 제어하여 반도체 제조수율을 향상시키고 고속제어를 가능하게 한 도금장치에서의 피처리물 이송시스템에 관한 것이다.본 발명 이송시스템은 가이드레일(10)에는 캐리어(30)의 상단부가 이동가능하게 지지되어 모터(60)에 의해서 이동가능하며, 캐리어(30)의 하단부에는 유도코일이 마련되며, 가이드레일(10)과 평행으로 마련되고 캐리어(30)의 하단부가 무접촉으로 안내되며 유도코일과 대향되는 급전레일(20)과, 급전레일(20)에 전원을 공급하는 전원공급부(50)를 구비하

본 발명은 피처리물을 이송시키는 캐리어를 무선으로 구동시키고 무선통신으로 제어하여 반도체 제조수율을 향상시키고 고속제어를 가능하게 한 도금장치에서의 피처리물 이송시스템에 관한 것이다.본 발명 이송시스템은 가이드레일(10)에는 캐리어(30)의 상단부가 이동가능하게 지지되어 모터(60)에 의해서 이동가능하며, 캐리어(30)의 하단부에는 유도코일이 마련되며, 가이드레일(10)과 평행으로 마련되고 캐리어(30)의 하단부가 무접촉으로 안내되며 유도코일과 대향되는 급전레일(20)과, 급전레일(20)에 전원을 공급하는 전원공급부(50)를 구비하여서, 전원공급부의 전원 공급으로 급전레일(20)로부터 유도코일에 유도전압이 발생되어서 모터(60)에 전원이 공급되도록 한다.상기와 같은 이송시스템은 종래 유선케이블에 의하여 전원을 공급하여던 것과는 달리, 본 발명은 유도전압에 의하여 전원을 공급시킴으로써 케이블 및 케이블베어 사용에 따른 분진오염요소를 차단하여 반도체 웨이퍼와 같은 피처리물의 오염발생율을 줄인다.

대표청구항 ▼

처리액이 수용된 도금조와, 도금조 상부에 수평으로 위치되는 가이드레일, 가이드레일을 따라 이동되어 피처리물을 이송시키는 캐리어, 캐리어를 이송시키는이송수단을 구비하는 도금장치에서의 피처리물 이송시스템에 있어서,상기 이송수단은 상기 가이드레일(10)에는 상기 캐리어(30)의 상단부가 이동가능하게 지지되어 모터(60)에 의해서 이동가능하며,상기 캐리어(30)의 하단부에는 유도코일이 마련되며,상기 가이드레일(10)과 평행으로 마련되고 상기 캐리어(30)의 하단부가 무접촉으로 안내되며 전원이 공급되는 전력선(21)이 마련되는 급전레일(20

처리액이 수용된 도금조와, 도금조 상부에 수평으로 위치되는 가이드레일, 가이드레일을 따라 이동되어 피처리물을 이송시키는 캐리어, 캐리어를 이송시키는이송수단을 구비하는 도금장치에서의 피처리물 이송시스템에 있어서,상기 이송수단은 상기 가이드레일(10)에는 상기 캐리어(30)의 상단부가 이동가능하게 지지되어 모터(60)에 의해서 이동가능하며,상기 캐리어(30)의 하단부에는 유도코일이 마련되며,상기 가이드레일(10)과 평행으로 마련되고 상기 캐리어(30)의 하단부가 무접촉으로 안내되며 전원이 공급되는 전력선(21)이 마련되는 급전레일(20)과, 상기 급전레일(20)의 전력선(21)에 전원을 공급하는 전원공급부(50)를 구비하여서,상기 전원공급부의 전원 공급으로 급전레일(20)로부터 상기 캐리어(30)의 유도코일에 유도전압이 발생되어서 상기 모터(60)에 전원이 공급되도록 된 것을 특징으로 하는 도금장치에서의 피처리물 이송시스템.